Сушильный аппарат FOUP (Front Opening Unified Pod)

Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800

На этапе литографии все происходит по определенному алгоритму: FOUP-корпуса прибывают с чистыми пластинами после их очистки, и время работает против нас. Если температура в процессе обработки изменится хотя бы немного, фоторезист не будет правильно затвердевать, а будет лишь покрывать поверхность пластины. В результате мы сталкиваемся с дефектами вместо получения качественных продуктов. Мы создали специальный сушильный аппарат для FOUP, чтобы предотвратить такие проблемы еще до их возникновения.

Что имеет значение внутри устройства
Мы поддерживаем температурную однородность на уровне ±0,1°C для всех пластин, находящихся в FOUP-корпусе. Это гарантирует, что каждая пластина получает одинаковые условия обработки. Ультракоротковолновое инфракрасное излучение обеспечивает быстрое и эффективное нагревание с минимальной тепловой инерцией. Камера соответствует стандартам чистых комнат класса 1–100; материалы и уплотнители выбраны таким образом, чтобы полностью исключить образование частиц. Повторяемость процесса обеспечивается за счет калиброванных датчиков и алгоритма замкнутого контура, который компенсирует изменения массы партии и температуры окружающей среды. Устройство работает круглосуточно, и данные о его работе показывают отсутствие непланированных перерывов в работе в течение нескольких месяцев.

FOUP on Quartz IR Heating Experts

Сушильный аппарат FOUP (Front Opening Unified Pod)