http://qz-heating-ir.com/th/tags/%E0%B9%84%E0%B8%AD%E0%B8%AD%E0%B8%B2%E0%B8%A3%E0%B9%8C/ Recent content in ไออาร์ on Quartz IR Heating Experts Hugo th Fri, 05 Jun 2026 04:07:08 +0800 http://qz-heating-ir.com/th/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 05 Jun 2026 04:07:08 +0800 http://qz-heating-ir.com/th/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="เซ็นเซอร์ IR ความแม่นยำสำหรับเวเฟอร์"></p> <h1 id="บนสายการผลต">บนสายการผลิต</h1> <p>เวเฟอร์ขนาด 300 มม. ไม่สามารถมีการไหลผ่านการอบแบบนุ่มและการอบแบบแข็งได้ จุดร้อน 2°C ในพื้นที่จะทำให้ CD เปลี่ยนแปลง ทิ้งคราบไว้ และทำให้ทั้งชุดกลายเป็นของเสีย คุณต้องการการควบคุมอุณหภูมิที่ทำงานเหมือนพารามิเตอร์กระบวนการจริง ไม่ใช่การคาดเดาที่ดีที่สุด</p> <h2 id="สงทสำคญภายใน">สิ่งที่สำคัญภายใน</h2> <p>เราได้สร้างเซ็นเซอร์ IR ความแม่นยำสำหรับการทำงานกับเวเฟอร์ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ ±0.1°C บนพื้นผิวการอบ ความสามารถในการทำซ้ำจุดตั้งค่าอยู่ในช่วง ±0.05°C ระหว่างการทำงาน มันทำงานในคลาสคลีนรูม 1–100 โดยใช้วัสดุและการตกแต่งที่ไม่สร้างอนุภาค การปล่อยก๊าซเป็นศูนย์ การหลุดร่อนเป็นศูนย์ และไม่มีสิ่งใดที่ทำให้ฟิล์มพีโต้เรซิสต์ปนเปื้อน มันทำงานร่วมกับแหล่งที่มาของฮาโลเจน ควอตซ์ และ NIR และการตอบสนองทางสเปกตรัมยังคงมีเสถียรภาพทำให้การดูดซึมสม่ำเสมอทั่วทั้งเวเฟอร์ คุณจะได้รับผลลัพธ์ที่เสถียรตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการไหลน้อยกว่า 5%</p> <h2 id="ทำไมมนจงทนทานในลโธ">ทำไมมันจึงทนทานในลิโธ</h2> <p>ในลิโธกราฟี การอบฟิล์มพีโต้เรซิสต์จะกำหนดงบประมาณทางความร้อน ด้วยเซ็นเซอร์นี้ คุณจะสามารถไปถึงเป้าหมายในล็อตแรกและรักษาไว้ได้ในล็อตถัดไป การทำงานซ้ำลดลง การควบคุม CD เกร็งตัวแน่นขึ้น ข้อบกพร่องลดลง และผลผลิตกลายเป็นที่คาดการณ์ได้ เนื่องจากแถบการควบคุมแน่น คุณจะไม่อบนานกว่าที่จำเป็น ดังนั้นการใช้งานพลังงานจึงลดลง แพลตฟอร์มรองรับเครื่องมือขนาด 150 มม. และ 300 มม. และสามารถติดตั้งในเตาอบและรางที่มีอยู่ได้ ทำให้รักษาหน้าต่างกระบวนการไว้ตามที่ควรจะเป็น—ภายในมาตรฐาน</p> <h2 id="รายละเอยดเชงปฏบต">รายละเอียดเชิงปฏิบัติ</h2> <p>การติดตั้งหมายถึงการเดินสายเทอร์โมคัปเปิลที่มีการป้องกันเฉพาะและการปรับค่าแคลิเบรตที่ตรงตามรูปทรงของห้อง คุณภาพการเริ่มต้นจะใช้เวลาไม่นาน: ปรับอัตราการปล่อยและเวลาที่อยู่สำหรับชุดเรซิสต์ของคุณ เซ็นเซอร์ได้รับการจัดอันดับสำหรับการทำงาน 24/7 แต่หากความชื้นสัมพัทธ์รอบข้างสูงกว่า 60% RH คุณต้องมีการล้างทำความสะอาดแบบแอกทีฟเพื่อให้เลนส์แห้ง ทำการประเมินคุณภาพ 24 ชั่วโมงเพื่อล็อกสูตรการทำงาน จากนั้นจึงนำไปใช้งาน</p> <iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/3GEDt0-ohSc?feature=oembed" title="เซ็นเซอร์ IR ความแม่นยำสำหรับเวเฟอร์" frameborder="0" allow="accelerometer; [autoplay](https://goldisgood.com); clipboard-write; encrypted-media; [gyroscope](https://o-yate.com); picture-in-picture; web-share" referrerpolicy="strict-origin-when-cross-origin" allowfullscreen></iframe>