http://qz-heating-ir.com/tr/tags/durulama/ Recent content in Durulama on Quartz IR Heating Experts Hugo tr Thu, 02 Jul 2026 08:36:23 +0800 http://qz-heating-ir.com/tr/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 08:36:23 +0800 http://qz-heating-ir.com/tr/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Durulama lambasından sonraki hızlı kuruyan wafer"></p> <p>Üretim alanında, yıkama işleminin kalitesi, kurutma işleminin kalitesine bağlıdır. Yıkamadan sonra kalan su izleri ve nem, verimi hızla düşürür; özellikle de 28nm’in altındaki boyutlarda bu durum daha belirgin olur. Standart ısıtıcılar mı? Bunlarda ısı transferinde gecikmeler olur ve her seferinde parçacıkların oluşmasına neden olur. Hızlı bir şekilde kurutma yapabilen lambalar sayesinde bu sorunu hızlı ve kontrollü bir şekilde çözebiliriz.</p> <p><strong>Önemli olan şeyler</strong><br> Lambayı, kuvars kabuğu içinde yer alan kısa dalga boylu kızılötesi halojen ışık kaynaklarından oluşturduk. <a href="https://o-yate.net">Tepki</a> süresi çok hızlıdır ve spektrum, suyun emilim bandı üzerinde yer alır. Yarıçapın her noktasında termal tutarlılık ±0,1°C civarında olur; bu da yarıçapın yumuşak ve sert pişirme adımlarından sonra bile fotorezistin bütünlüğünü korur. Temiz oda sınıfı 1–100 elde edilebilir; çünkü ısıtma bölgesinde parçacık içermeyen malzemeler kullanılır ve cihaz, laminar akışlı bir havalandırma sistemi altında yer alır. 5.000 saatten fazla süre boyunca çıkış değerleri %5’ten az sapma gösterir ve ayarlar günler boyunca tekrarlanabilir.</p>