http://qz-heating-ir.com/tr/tags/k%C3%BClle%C5%9Ftirme/ Recent content in Külleştirme on Quartz IR Heating Experts Hugo tr Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/tr/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/tr/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Külleştirme işlemi için ısıtma – Kızılötesi"></p> <p>Litografi işlemlerinde, kürlenme odası, <a href="https://goldisgood.com">fotorezistin</a> uzaklaştırılması için gerekli olan termal parametreleri belirler. Ayar noktasından yarım derece kadar sapma olursa, kalıntılar oluşur; daha kötüsü, alttaki katmana zarar verilir. Bir tane bozuk wafer bile tüm işlemi alt üst edebilir. Kızılötesi ısıtma sayesinde bu termal profili sabit tutmak mümkün olur.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong><br> Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar kullanılarak ısı doğrudan fotorezist tabakasına yönlendirilir. Bu sayede işlem hızlı, doğrudan ve öngörülebilir bir şekilde gerçekleşir. Waferin her yerinde sıcaklık farkı ±0,1°C civarında kalır. Emiter tasarımı kuvars içermediğinden, parça oluşumu tamamen engellenmiş olur; bu da Temiz Oda Sınıfı 1–100 için gereken koşuldur. Tekrarlanabilirlik ise, ister yumuşak pişirme, ister sert pişirme, ister de aşındırma işleminden sonra olsun, %0,2’den daha düşük bir sapma ile sağlanır.</p>