Koruyucu Kızılötesi Lamba Tasarımı Yoluyla Wafer Kirliliğinin Önlenmesi

Karmaşayı durdurmak: Wafer işleme sırasında kızılötesi lambaların arızalanması Eğer yüksek yoğunlukta çalışırken bir kızılötesi lambanın patladığını...