http://qz-heating-ir.com/uk/tags/%D0%B2%D1%96%D1%84%D0%BB%D1%96%D0%B9/ Recent content in Віфлій on Quartz IR Heating Experts Hugo uk Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/uk/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/uk/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Сушарка для чищення носіїв вафер"></p> <p>На виробничій лінії носій, який пройшов процедуру очищення за допомогою сушарки, не може привносити вологу до зони літографії. Залишкові шари та сліди води не лише знижують ефективність процесу, але й змушують проводити повторну обробку та обмежують можливості термічної обробки на наступному етапі. Сушарка мусить забезпечувати однорідну сушку, не додаючи частинок та не створюючи надмірного теплового навантаження на носій.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому процесі</strong><br> Ми розробили сушарку для очищення носіїв, використовуючи короткочастотне інфрачервоне опромінення. Це дозволяє ефективно сушити носій, не перегріваючи при цьому кварцовий носій. У результаті формується однорідне температурне поле на всій площі носія – це забезпечує стабільність температури на рівні ±0,1°C у критичній зоні. Повторюваність результатів забезпечується завдяки спеціальній конструкції ламп та системі контролю; кожен цикл сушіння забезпечує однаковий профіль температури. Система може функціонувати у чистих приміщеннях класу 1–100; під час роботи не утворюється жодних частинок, а система відведення повітря запобігає їх повторному потраплянню в систему.</p>