http://qz-heating-ir.com/uk/tags/%D0%B7%D0%B2%D1%83%D0%B6%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D1%8F/ Recent content in Звуження on Quartz IR Heating Experts Hugo uk Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/uk/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/uk/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Процес спалювання з використанням інфрачервоного нагріву"></p> <p>На поверхні літографічного пристрою камера для видалення залишків фоторезисту визначає температурний режим необхідний для його усунення. Навіть незначне відхилення від заданої температури може призвести до залишку фоторезисту на поверхні пластини – а ще гірше – до пошкодження шару, який знаходиться під ним. Одна неякісна пластина може зіпсувати всю партію продукції. Інфрачервоне нагрівання дозволяє контролювати температурний профіль належним чином.</p> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла для швидкого та ефективного нагрівання фоторезисту. Рівномірність температури на всій поверхні пластини становить ±0,1°C. Конструкція випромінювачів не містить кварцу, тож не виникає частинок, що є ключовою умовою для роботи у чистих приміщеннях класу 1–100. Повторюваність результатів становить ≤0,2% від циклу до циклу, незалежно від того, чи йдеться про процедуру м’якого чи жорсткого нагрівання чи ет<a href="https://henruite.com">ching</a>у.</p>