Сушарка on Quartz IR Heating Experts

Контролер цифрового інфрачервоного сушарки

Mon, 13 Jul 2026 14:51:43 +0800

Чому ми відмовляємося від звичайних печей на користь інфрачервоних систем висушування
Будемо чесні: конвекційні печі – це вже застаріла технологія. Останнім часом спостерігається значний рух у напрямку використання цифрових інфрачервоних контролерів. Йдеться не лише про екологічність чи дотримання стандартів без використання свинцю – справа у тому, що такі системи працюють краще, не уповільнюючи роботу лінії.

Проблема температури
Суть у тому, що клеї та сплави без свинцю вимагають значно більше тепла для висушування, ніж старі клеї зі свинцем. Якщо використовувати звичайну піч з гарячим повітрям, доводиться нагрівати всю кімнату, щоб лише трохи матеріалу загусло. Це марна трата енергії, а також може призвести до деформації матеріалу. Інфрачервоні системи працюють інакше – вони безпосередньо впливають на матеріал за допомогою короткохвильового випромінювання, яке потрапляє прямо в поверхню матеріалу. Результат? Матеріал готовий через кілька секунд, а не годин.

Сушарка для чищення носіїв вафер

Wed, 24 Jun 2026 04:03:25 +0800

На виробничій лінії носій, який пройшов процедуру очищення за допомогою сушарки, не може привносити вологу до зони літографії. Залишкові шари та сліди води не лише знижують ефективність процесу, але й змушують проводити повторну обробку та обмежують можливості термічної обробки на наступному етапі. Сушарка мусить забезпечувати однорідну сушку, не додаючи частинок та не створюючи надмірного теплового навантаження на носій.

Що є важливим у цьому процесі
Ми розробили сушарку для очищення носіїв, використовуючи короткочастотне інфрачервоне опромінення. Це дозволяє ефективно сушити носій, не перегріваючи при цьому кварцовий носій. У результаті формується однорідне температурне поле на всій площі носія – це забезпечує стабільність температури на рівні ±0,1°C у критичній зоні. Повторюваність результатів забезпечується завдяки спеціальній конструкції ламп та системі контролю; кожен цикл сушіння забезпечує однаковий профіль температури. Система може функціонувати у чистих приміщеннях класу 1–100; під час роботи не утворюється жодних частинок, а система відведення повітря запобігає їх повторному потраплянню в систему.

Сушарка FOUP (Front Opening Unified Pod)

Mon, 22 Jun 2026 23:50:58 +0800

На поверхні літографічного обладнання все відбувається за певною схемою: FOUP-и приходять у вологому стані після очищення, а час на обробку вже йде. Якщо температура під час обробки буде навіть трохи не такою, як потрібно, фоторезист не буде належним чином затверднюватися. У такому разі процес літографії буде спрямований на усунення дефектів, а не на досягнення бажаного результату. Ми створили сушарку FOUP, щоб запобігти таким проблемам ще на початковому етапі.

Що є важливим у цьому пристрої
Ми підтримуємо температурну однорідність на рівні ±0,1°C по всій поверхні FOUP, щоб кожен чіп отримував однакову кількість тепла. Короткохвильове інфрачервоне випромінювання забезпечує швидке та ефективне нагрівання з мінімальною тепловою інерцією, що дозволяє контролювати процес тверднення фоторезисту. Камера підходить для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали та ущільнювачі підібрані так, щоб уникнути утворення частинок. Повторюваність результатів забезпечується завдяки каліброваним датчикам та алгоритмам з закритим циклом, які компенсують вплив маси чіпів та зовнішніх факторів. Пристрій працює 24/7, і дані з практичного використання показують відсутність неplanових перерв у роботі протягом кількох місяців.