Khắc phục sự cố với bộ sưởi trong hệ thống RTP

Sun, 21 Jun 2026 06:10:46 +0800

Trong quy trình sản xuất, sự cố xảy ra với bộ sưởi RTP không được phát hiện một cách rõ ràng. Những sự cố này thể hiện qua sự biến đổi trong quá trình nung ấm, sự thay đổi độ dày của các đường kẻ sau khi chiếu sáng, hoặc tốc độ khắc không ổn định. Viên wafer sẽ cho thấy dấu hiệu của sự không đồng đều về nhiệt độ; hậu quả là sản phẩm bị hỏng – chứ không chỉ là tình trạng ngưng máy.

Giải Quyết Sự Cố on Quartz IR Heating Experts

Khắc phục sự cố với bộ sưởi trong hệ thống RTP