http://qz-heating-ir.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Quartz IR Heating Experts Hugo zh Wed, 22 Jul 2026 04:38:17 +0800 http://qz-heating-ir.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Wed, 22 Jul 2026 04:38:17 +0800 http://qz-heating-ir.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>如何正确干燥MEMS晶圆<br> 干燥MEMS传感器晶圆其实是一项技术要求极高的工作。如果温度控制不当，就容易导致粘附现象或表面张力问题，从而破坏传感器功能。为了解决这个问题，我们使用红外加热元件来迅速蒸发残留的液体。这样既能去除水分，又不会损坏那些脆弱的薄膜结构。</p>