http://qz-heating-ir.com/zh/tags/%E6%95%85%E9%9A%9C%E6%8E%92%E9%99%A4/ Recent content in 故障排除 on Quartz IR Heating Experts Hugo zh Sun, 21 Jun 2026 06:10:47 +0800 http://qz-heating-ir.com/zh/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ Sun, 21 Jun 2026 06:10:47 +0800 http://qz-heating-ir.com/zh/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="排查RTP系统加热器故障"></p> <p>在芯片制造过程中，RTP加热器出现故障时，并不会立刻显现出来。其表现形式可能是软烘烤过程中的温度波动、曝光后的线条宽度变化，或是蚀刻速率不稳定。晶圆上会留下温度不均匀的痕迹，最终导致产品成为废品——<a href="https://o-yate.net">而不仅仅是</a>生产中断而已。</p>