ফ্যাব ফ্লোরে
থার্মাল এক্সকর্শন সতর্কবার্তা ছাড়াই উপস্থিত হয়—এটি ফলন হ্রাসের রূপে প্রকাশ পায়। একটি 0.5°C ড্রিফট ফটোরেজিস্ট বেকের সময় সমালোচনামূলক মাত্রা নিয়ন্ত্রণকে স্পেসের বাইরে নিয়ে যেতে যথেষ্ট। এবং একটি অ-একক গরম প্লেট? আপনি ওয়েফার শুকানোর পর জলছাপ দেখতে পাবেন। ক্ষতির পরিমাণ কেবল স্ক্র্যাপ নয়—এটি সময়সূচী পিছিয়ে যাওয়া।
প্রযুক্তিগত দৃষ্টিকোণ থেকে যা গুরুত্বপূর্ণ আমরা এই হিটারগুলোকে সঠিক তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের জন্য ডিজাইন করি: ±0.1°C সেটপয়েন্ট স্থিতিশীলতা এবং ওয়েফার-স্তরের এককতা। আমরা ক্লিন হিট ট্রান্সফারের জন্য কোয়ার্টজ জানালা দিয়ে সংযুক্ত স্বল্প-তরঙ্গ হ্যালোজেন বা মধ্য-তরঙ্গ ইনফ্রারেড ব্যবহার করি। দ্রুত র্যাম্প রেট সাইকেল টাইম কমায় স্ট্যাকের উপর চাপ না দিয়ে।
হার্ডওয়্যারটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমের জন্য স্পেসিফাইড: কম আউটগ্যাসিং উপকরণ, গরম অঞ্চলে শূন্য কণা উৎপাদন এবং MTBF ডেটা দ্বারা সমর্থিত 24/7 নির্ভরযোগ্যতা। পুনরাবৃত্তি নিয়ন্ত্রণ লুপে অন্তর্ভুক্ত, পরে সংযুক্ত নয়।
এটি কেন কার্যকর যেখানে এটি গুরুত্বপূর্ণ এই হিটারটি চারটি তাপীয় নোডের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে যা ফ্রন্ট-এন্ড এবং প্যাকেজিং গুণমানের জন্য টোন সেট করে: ওয়েফার শুকানো, ফটোরেজিস্ট সফট বেক এবং হার্ড বেক, প্যাকেজ কিউর, এবং পোস্ট-ক্লিন শুকানো।
সঠিক এককতা মানে ওয়েফারের উপর কম ত্রুটি, লিথোগ্রাফিতে সঠিক CD নিয়ন্ত্রণ এবং এনক্যাপসুলেন্টে ধারাবাহিক ক্রসলিঙ্কিং। আপনি ছোট তাপীয় রেসিপি, প্রতি লটে কম শক্তি এবং কম হিটার পরিবর্তন পাবেন—কারণ স্থিতিশীলতা শিফটে মাপা হয়, মিনিটে নয়।
এটি পরিকল্পনা করার জন্য আপনার যা প্রয়োজন সিস্টেমটি পরিষ্কারভাবে একত্রিত হয়, তবে সঠিকভাবে সামঞ্জস্য করা অপরিহার্য। সাবস্ট্রেটের একটি সংকীর্ণ তাপীয় উইন্ডো রয়েছে; র্যাম্প-আপের সময় অতিরিক্ত তাপ পাতলা ফিল্মকে বিকৃত করতে পারে।
এটি নিশ্চিত করুন যে আপনি নিষ্কাশন রুটিং এবং সঠিক তাপীয় বিচ্ছিন্নতা পরিকল্পনা করছেন যাতে আপনি পার্শ্ববর্তী যন্ত্রগুলির সাথে ক্রসটক না পান। এবং আপনার চুক জিওমেট্রি এবং আপনার প্রক্রিয়ার তাপীয় বাজেটের সাথে হিটারটি মেলান—অন্যথায় কাগজে থাকা স্পেসিফিকেশনগুলি ফ্লোরে রূপান্তরিত হবে না।