লাইনে
এই 300 mm ওয়েফারটি সফট বেক এবং হার্ড বেকের মাধ্যমে বিচলিত হতে পারে না। একটি 2°C হটস্পট পুরো ক্ষেত্র জুড়ে CD পরিবর্তন করবে, পিছনে স্কাম রেখেই পুরো ব্যাচটি স্ক্র্যাপে পরিণত করবে। আপনাকে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের প্রয়োজন যা একটি বাস্তব প্রক্রিয়া প্যারামিটারের মতো কাজ করে, কোন অনুমান নয়।
কি গুরুত্বপূর্ণ
আমরা ওয়েফার কাজের জন্য ±0.1°C তাপীয় সমতা ধরে রাখার জন্য সঠিক IR সেন্সর তৈরি করেছি বেকের পৃষ্ঠ জুড়ে। সেটপয়েন্ট পুনরাবৃত্তি ±0.05°C মধ্যে থাকে রান-টু-রানে। এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 এ চলে, এমন উপকরণ এবং ফিনিশ ব্যবহার করে যা কণাগুলি উড়িয়ে দেয় না। শূন্য আউটগ্যাসিং, শূন্য শেডিং, এবং ফটোরেজিস্টকে দূষিত করার কিছুই নেই। এটি হ্যালোজেন, কোয়ার্টজ এবং NIR উৎসের সাথে কাজ করে, এবং স্পেকট্রাল প্রতিক্রিয়া স্থিতিশীল থাকে তাই শোষণ ওয়েফার জুড়ে ধারাবাহিক। আপনি 5,000+ ঘণ্টার পরে স্থিতিশীল আউটপুট পান, 5% এর নিচে বিচলন।
এটি লিথোগ্রাফিতে কেন কার্যকর
লিথোগ্রাফিতে, ফটোরেজিস্ট বেক তাপীয় বাজেট সেট করে। এই সেন্সরের সাহায্যে, আপনি প্রথম লটে লক্ষ্যবস্তুতে পৌঁছান এবং সেখানে থাকেন, লট পর লট। পুনরায় কাজের সংখ্যা কমে যায়। CD নিয়ন্ত্রণ শক্তিশালী হয়, ত্রুটি কমে যায়, এবং ফলন পূর্বানুমানযোগ্য হয়ে যায়। কারণ নিয়ন্ত্রণ ব্যান্ডটি টাইট, আপনি প্রয়োজনের চেয়ে বেশি সময় বেক করেন না, তাই শক্তির ব্যবহার কমে যায়। প্ল্যাটফর্ম 150 mm এবং 300 mm টুল সমর্থন করে এবং বিদ্যমান ওভেন এবং ট্র্যাকে পড়ে, প্রক্রিয়ার উইন্ডো যেখানে থাকা উচিত সেখানে রাখে—স্পেকের মধ্যে।
ব্যবহারিক বিস্তারিত তথ্য
স্থাপন মানে একটি নিবেদিত, শিল্ডেড থার্মোকপলের রান এবং আপনার চেম্বার জিওমেট্রির জন্য একটি ক্যালিব্রেশন অফসেট ম্যাপ করা। কমিশনিং সংক্ষিপ্ত: আপনার রেজিস্ট্যাকের জন্য এমিশিভিটি এবং ডওয়েল টাইম টিউন করুন। সেন্সরটি 24/7 কার্যক্রমের জন্য রেটেড, কিন্তু যদি পরিবেশগত আর্দ্রতা 60% RH এর উপরে উঠে যায়, তাহলে আপনাকে অপটিক্স শুকনো রাখার জন্য সক্রিয় পর্জ দরকার। রেসিপি লক করতে 24 ঘণ্টার ক্যালিফিকেশন চালান, তারপর এটি কাজে লাগান।