Udržování čisté místnosti třídy 100 skutečně čistou
Když pracujete v prostředí třídy 100, „efektivita“ ustupuje do pozadí. Jediné, na čem opravdu záleží, je kontrola částic.
Problém spočívá v tom, že většina běžných IR lamp je poměrně špinavá – uvolňují plyn nebo drobné úlomky z svých uzávěrů a konce trubic. Je to neviditelné, ale přesto se to tam nachází. Řešíme to použitím trubic z vysoce čistého křemene spolu s specializovanými keramickými uzávěry.
Proč jsou materiály důležité
Většina IR emitérů využívá k spojení trubic lepidla nebo levné plasty. V prostředí s vysokou teplotou nebo ve vakuu se tyto materiály prostě rozpadnou. To způsobuje kontaminaci povrchu destiček.
Přešli jsme na trubice z vysoce čistého syntetického křemene. Ten nevykazuje reakce při tepelném šoku a odolává chemickému leptání.
Ale skutečným tajemstvím jsou keramické uzávěry. Používáme keramiku s vysokým obsahem hlinitých oxidů, bez jakýchkoli kovových spojovacích prvků. To zabrání tomu nepříjemnému efektu „prachu“, který se vyskytuje u levnějších lamp, a zároveň zabrání úniku organických látek při zvyšování teploty.
Několik věcí, na které je potřeba dávat pozor
Tyto emitéry mají velmi intenzivní tepelný tok. Proto musí být jejich upevnění dokonalé. Pokud se trubice posune i o několik milimetrů, vznikne na povrchu destičky horké místo. Je to náročná podmínka, ale je to nezbytné.
A rychlý tip ohledně napájecího zdroje: vysoce čistý křemen se expanduje specifickým způsobem. Pokud zapnete napájení příliš rychle, vyvine se tlak na spojení mezi keramikou a křemenem. Buďte proto opatrní během zvyšování teploty. Vaše uzávěry vám za to poděkují.
Jak je nasadit do provozu
Vytvořili jsme je tak, aby mohly nahradit stávající emitory. Stačí je připojit k vašim stávajícím ovladačům a můžete začít s vysokofrekvenčním zářením.
Jelikož jsme odstranili všechny prvky, které způsobují kontaminaci, všimnete si mnohem méně částic během kontrol povrchu. To znamená méně času na čištění a více času na samotnou výrobu. Ujistěte se však, že vaše chladicí ventily jsou dostatečně silné na to, aby zvládly teplo vznikající kolem těchto keramických uzávěrů.