Přestaňte plýtvat energií: Lepší způsob ohřevu waferů
Pokud jste někdy ohřívali wafery uvnitř rukavice, víte, jaké to je frustrující. Vkládáte energii do infračervených lamp, ale polovina té energie se prostě odráží od stěn komory. Je to plýtvání energií. Platíte za elektřinu, která ani nedosáhne vašeho substrátu. Našli jsme způsob, jak tomu zabránit. Místo toho, abychom nechali teplo rozptylovat se, přidali jsme do sestavy ohřívače reflexory potažené zlatem. Proč zlato? Není to kvůli vzhledu. Zlato skvěle odráží infračervené záření – podstatnou část z něj, konkrétně 98 %. Tím, že potahujeme zadní část obalu vysokokvalitním zlatem, donutíme fotony, aby se obrátily a zamířily přímo na wafer. Tím se rozptýlené světlo mění v úzký, soustředěný paprsek. Získáte tak potřebné teploty povrchu, aniž byste museli zvyšovat napětí nebo kupovat větší lampy. Ale je tu jeden problém. Když posíláte veškerou tu energii dopředu, situace se stává intensivní. Kvartový obal lampy musí vydržet větší zátěž. A pokud jsou reflexory o několik milimetrů mimo správnou pozici? Vzniknou „horká místa“, která mohou poškodit wafer. Proto věnujeme tolik pozornosti specifikacím – zajistíme si, aby se ohnisko pokaždé dostalo přesně do středu substrátu. Ještě jedna věc: dávejte pozor na chlazení. Jelikož teplo už neproniká do zadní části pouzdra, zátěž na přední straně je velká. Ujistěte se, že ventilace v rukavici dokáže držet krok, jinak mohou být vaše zařízení poškozena. Jak to funguje Nejlepší na tom je, že se jedná o náhradní díly, které lze jednoduše nasadit. Nemusíte znovu sestavovat celý systém. Používáme také spojky určené pro vysoké teploty, takže se nemusíte obávat oxidace kontaktů během dlouhých cyklů ohřevu. Jelikož konečně využíváte každý watt co nejlépe, možná zjistíte, že můžete použít menší zdroj energie. Nebo dokonce můžete zkrátit dobu ohřevu. Je to lepší pro vaše zařízení a wafery se ohřejí mnohem rychleji.