Jak využít potenciál procesu vysoušení waferů co nejlépe
Při vysoušení waferů jde o určitou rovnováhu. Je potřeba odstranit rozpouštědla nebo spustit správnou chemickou reakci. Ale nemůžete prostě zvýšit teplotu – jinak byste poškodili substrát.
Právě tu přicházejí na pomoc reflektory. Používáme ty pokryté zlatem, protože opravdu nechceme, aby infračervená energie unikala do těla stroje a promarnila se.
Proč zlato?
Většina lidí začíná s hliníkem, ale ten prostě nevyhovuje pro dlouhovlnné infračervené záření. Umožňuje totiž příliš mnoho tepla uniknout. Zlato je jiné – díky vrstvě zlata nanesené v vakuumu můžeme téměř veškeré infračervené záření odrážet zpět tam, kam patří.
Tím se teplo soustředí. V podstatě dostanete mnohem větší účinek na každý watt.
Vše záleží na tvaru
Křivka reflektoru určuje, jak teplo dopadne na wafer. Parabolický tvar soustředí paprsek, zatímco eliptický tvar působí na konkrétní bod. Pokud specifikace nejsou správné, budete mít problémy – na waferu se objeví „horké body“, což obvykle znamená nerovnoměrné vysoušení, nebo dokonce zkreslení substrátu. Abychom zabránili úniku energie, musíme zajistit, aby lampa byla přesně uprostřed optické osy. Přesnost je zde klíčová.
Nevýhody
Zlato je sice skvělé pro efektivní výdej tepla, ale je křehké. Nedokáže odolat silnému čištění. Pokud vaši pracovníci používají agresivní chemikálie nebo abrazivní materiály k čištění, ta zlatá vrstva se poškodí. Jakmile se to stane, efektivita klesne prudce. Tyto komponenty je potřeba zacházet opatrně. Nejlepší řešení je použít ochranný křemenný štít.
Rychlá rada pro nastavení
Při zapojování těchto systémů mějte na paměti, že vyšší efektivita znamená, že wafer pohlcuje více energie než dřív. Možná budete muset snížit výkon nebo zrychlit pohyb konvejera, abyste nevysochovali wafery příliš rychle. A nezapomeňte na ochranu – nechcete přece, aby ostatní komponenty pohltily veškeré tu energii.