Wie man einen Reinraum der Klasse 100 tatsächlich sauber hält
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, geht es bei der Beheizung nicht wirklich um die Temperatur – sondern um die unsichtbaren Stoffe. Die meisten Heizelemente sind in solchen Umgebungen ein Albtraum: Sie geben Gase ab oder setzen kleine Partikel frei – Dinge, die man sogar nicht sehen kann. Doch das reicht aus, um Halbleiterchips oder Wafern zu zerstören. Um das zu verhindern, verwenden wir für unsere Infrarot-Lampen hochreinen synthetischen Quarz.
Das Geheimnis liegt im Glas
Wir nutzen gefüllten Siliziumdioxid. Es ist so rein, dass es bei hoher Temperatur keine Metallionen abgibt. Herkömmliche Quarzlampen geben bei Erreichen der Höchstemperaturen Unreinheiten ab – doch unsere Lampen behalten ihre Oberflächenchemie bei. Im Grunde genommen fällt nichts von der Lampe ab – nichts kann auf die Substrate fallen. Die Lampen funktionieren einfach einwandfrei.
Umgang mit der Hitze
In einer Fertigungsstätte braucht man eine hohe Strahlungsintensität, damit die Aushärtungsgeschwindigkeit erhöht werden kann. Deshalb erhöhen wir die Leistung der Lampen. Doch es gibt ein Problem: Eine hohe Wärmedichte belastet die Dichtungen der Lampen stark. Wenn eine Dichtung undicht wird, entweicht das Halogengas – und die Glühfäden brennen sofort aus. Um das zu verhindern, verwenden wir spezielle Vakuumdichtungen. Zudem sorgen wir dafür, dass die Lampen in einem konstanten Zustand arbeiten – dadurch entstehen keine plötzlichen Temperaturschwankungen, die zum Bruch des Glases führen könnten.
Installierung der Lampen
Wir haben darauf geachtet, dass die Lampen eine kleine Abmessung haben, damit sie in engen Räumen Platz finden können. Wir empfehlen außerdem den Einsatz von Verbindern mit geringer Emission. Man möchte schließlich nicht, dass Polymere durch das Kabel in den Luftstrom gelangen.
Ein wichtiger Hinweis: Berühren Sie den Quarz auf keinen Fall! Hautöle sind hier ein großes Problem. Wenn ein Techniker die Lampe während der Installation berührt, bleiben diese Öle im Glas zurück. Das führt zu „heißen Punkten“, die wiederum zu Rissen im Glas führen können. Halten Sie stets fleckenfreie Handschuhe sowie Isopropylalkoholtücher zur Hand. Wenn alles sauber bleibt, halten die Lampen lange.