Maximieren Sie die Leistung bei der Aushärtung von Wafern
Bei der Aushärtung von Wafern muss man ein Gleichgewicht finden. Man muss die Lösungsmittel entfernen oder die richtige chemische Reaktion auslösen – doch man kann den Temperaturgrad nicht einfach erhöhen, sonst wird das Substrat beschädigt.
Deshalb werden Reflektoren eingesetzt. Wir verwenden goldbeschichtete Reflektoren – schließlich möchten wir nicht, dass die Infrarotenergie in das Gehäuse der Maschine gelangt und dort verschwendet wird.
Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminium – doch dieses Material eignet sich nicht für langwelliges Infrarotlicht. Es lässt zu viel Wärme hindurch. Gold hingegen ist anders: Durch eine im Vakuum aufgetragene Goldschicht kann fast das gesamte Infrarotlicht wieder dorthin zurückgeleitet werden, wo es hin soll. Dadurch wird die Wärme konzentriert – im Grunde erhält man so mehr Leistung pro Watt.
Es geht um die Form
Die Form des Reflektors bestimmt, wie die Wärme auf den Wafer wirkt. Eine parabolische Form strahlt den Strahl zusammen, während eine elliptische Form die Wärme an einen bestimmten Punkt lenkt. Wenn die Parameter nicht korrekt sind, entstehen „heiße Punkte“ auf dem Wafer – das bedeutet meist eine ungleichmäßige Aushärtung oder sogar eine Verformung des Substrats. Um zu verhindern, dass die Energie entweicht, müssen wir sicherstellen, dass die Lampe genau in der Mitte der optischen Achse angeordnet ist. Präzision ist hier entscheidend.
Der Nachteil
Gold ist zwar hervorragend für die Wärmeverteilung – doch es ist weich. Es kann keine starken Reibungen standhalten. Wenn das Team aggressive Chemikalien oder abrasive Putzmittel verwendet, wird die Goldschicht beschädigt. Dann sinkt die Effizienz drastisch. Man muss diese Komponenten daher vorsichtig behandeln. Ein schützender Quarzschild ist meist die beste Lösung.
Ein Tipp zur Einrichtung
Beim Anschließen dieser Systeme sollten Sie beachten, dass eine höhere Effizienz bedeutet, dass der Wafer mehr Energie aufnimmt als früher. Möglicherweise müssen Sie die Leistung reduzieren oder die Fördergeschwindigkeit erhöhen, damit nichts überhärtet wird. Vergessen Sie außerdem nicht den Schutz – Sie wollen schließlich nicht, dass die restlichen Geräte die abgelenkte Wärme aufnehmen.