Das Ende des Albtraums der Waferkontamination
Seien wir ehrlich: Wenn inmitten eines hochbelasteten Betriebsprozesses eine Lampe ausfällt, handelt es sich dabei nicht einfach nur um einen kurzen Stillstand – es ist eine Katastrophe. Glassplitter und Halogensäure fallen auf die Wafer herab, wodurch die gesamte Charge unbrauchbar wird. Man muss anschließend den ganzen Behälter reinigen. Das ist eine Situation, mit der niemand umgehen möchte.
Genau deshalb haben wir unsere IR-Systeme so konstruiert.
Das Geheimnis liegt im Aluminium
Wir verwenden Reflektoren aus hochreinem Aluminium. Doch ihre Funktion beschränkt sich nicht nur darauf, Wärme abzuleiten. Man kann den Reflektor auch als Schutzschild betrachten. Indem wir die Lampe in einer präzise gefertigten Aluminiumhülle platzieren, schaffen wir im Grunde eine Schutzzone.
Falls eine Lampe zerbricht oder ausgeht, fängt der Reflektor den größten Teil der Trümmer auf. Dadurch werden diese schädlichen Partikel davon abgehalten, zur Oberfläche der Wafer zu gelangen. Einfach – aber effektiv.
Umgang mit der Wärme
Lampen mit hohem Leistungswert verursachen enormen Druck auf alle Komponenten. Um zu verhindern, dass sie frühzeitig versagen, lassen wir bestimmte Abstände zwischen der Lampe und den Metallwänden. Wenn die Lampe diese Wände berührt, entstehen heiße Stellen – und die Lampe geht kaputt.
Außerdem polieren wir das Aluminium bis zu einem spiegelglatten Finish. Dadurch wird die IR-Reflexion deutlich effizienter. Das bedeutet, man muss nicht so hohe Spannungen verwenden, um die gewünschten Temperaturen zu erreichen. Weniger Leistung bedeutet weniger Druck auf die Quarzkapsel – was wiederum dazu beiträgt, dass alles stabil bleibt.
Die Realität
Kein System ist perfekt. Auch wenn der Aluminiumschutz die Trümmer fernhält, kann er die Wärme an den Enden der Lampe nicht vollständig zurückhalten. Hier muss man besonders vorsichtig sein. Stellen Sie sicher, dass Ihr Kühlsystem für die vom Ihnen verwendeten Lampen erforderliche Leistung geeignet ist – sonst könnten die Anschlüsse schmelzen. Wenn die Luftzirkulation zu gering ist, spielt es keine Rolle, wie gut der Reflektor ist – die Hitze wird die Lebensdauer der Lampe beeinträchtigen.
Wir haben diese Geräte so konzipiert, dass sie direkt in Ihre bestehenden Heizsysteme eingebaut werden können. Dadurch entsteht weniger Platzbedarf, die Arbeitsumgebung wird sicherer – und der Druck auf die Geräte sinkt erheblich.