Auf der Linie
Ein 300 mm Wafer kann sich während des Soft-Bake- und Hard-Bake-Prozesses keine Drift leisten. Ein 2°C Hotspot im gesamten Bereich wird die CD verschieben, Rückstände hinterlassen und eine ganze Charge zu Schrott machen. Sie benötigen eine Temperaturkontrolle, die sich wie ein echter Prozessparameter verhält und nicht wie eine beste Schätzung.
Was unter der Haube zählt
Wir haben den Präzisions-IR-Sensor für Waferarbeiten entwickelt, um eine thermische Homogenität von ±0,1°C über der Backfläche zu gewährleisten. Die Wiederholgenauigkeit des Sollwerts bleibt innerhalb von ±0,05°C von Lauf zu Lauf.
Er läuft in Reinraumklasse 1–100, mit Materialien und Oberflächen, die keine Partikel abgeben. Keine Ausgasung, kein Abblättern und nichts, was das Fotolack kontaminiert.
Er funktioniert mit Halogen-, Quarz- und NIR-Quellen, und die spektrale Reaktion bleibt stabil, sodass die Absorption über den Wafer hinweg konsistent ist. Sie erhalten einen stabilen Ausgang über 5.000+ Stunden mit unter 5% Drift.
Warum er in der Lithografie beständig ist
In der Lithografie bestimmt das Backen des Fotolacks das thermische Budget. Mit diesem Sensor treffen Sie im ersten Los das Ziel und bleiben dort, Los für Los. Nachbearbeitungen sinken. Die CD-Kontrolle wird enger, Defekte nehmen ab, und der Ertrag wird vorhersehbar.
Da der Kontrollbereich eng ist, backen Sie nicht länger als nötig, sodass der Energieverbrauch sinkt. Die Plattform unterstützt 150 mm und 300 mm Werkzeuge und lässt sich in bestehende Öfen und Bahnen integrieren, wodurch das Prozessfenster dort bleibt, wo es sein sollte – innerhalb der Spezifikation.
Die praktischen Details
Die Installation erfordert einen speziellen, abgeschirmten Thermoelementlauf und einen Kalibrierungsversatz, der auf Ihre Kammergeometrie abgebildet wird. Die Inbetriebnahme ist kurz: Emissivität und Verweildauer für Ihren Lackstapel einstellen.
Der Sensor ist für den 24/7-Betrieb ausgelegt, aber wenn die relative Luftfeuchtigkeit über 60% RH steigt, benötigen Sie eine aktive Spülung, um die Optik trocken zu halten.
Führen Sie eine 24-Stunden-Qualifikation durch, um das Rezept zu sichern, und setzen Sie es dann in Betrieb.