Vermeiden Sie Schäden an den Wafern durch defekte Leuchten In einer Anlage mit hohem Durchsatz bedeutet ein defekter Leuchtkörper nicht nur Ärger...

Auf dem Fertigungsboden zeigen sich thermische Abweichungen nicht durch Warnmeldungen – sie äußern sich in Ertragsverlusten. Eine Drift von 0,5°C...