Vermeiden Sie Schäden an den Wafern durch defekte Leuchten
In einer Anlage mit hohem Durchsatz bedeutet ein defekter Leuchtkörper nicht nur Ärger oder eine kurze Stillstandzeit – es handelt sich dabei um einen regelrechten Albtraum. Wenn die Quarzkapsel platzt, fallen Glasscherben sowie verdampfter Wolfram auf die Wafer. Das führt sofort zum Verlust der Wafer. Danach bleibt noch die Aufgabe übrig, den gesamten Raum zu reinigen. Niemand möchte sein Wochenende damit verbringen.
Umgang mit der Hitze
Wir bauen unsere Infrarotleuchten so, dass sie dem ständigen, intensiven Betrieb in Halbleiterfabriken standhalten können. Meistens versagen die Leuchten wegen ungleicher thermischer Ausdehnung – im Grunde kann das Glas den Temperaturschwankungen nicht standhalten. Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz. Dieser ist sehr widerstandsfähig und kann den schnellen Temperaturwechseln standhalten, ohne zu Rissen zu kommen. Doch damit sind wir noch nicht fertig. Wir verwenden auch Schutzmaßnahmen – wir umhüllen die Leuchtmittel mit bruchsicheren Hüllen oder verwenden spezielle Beschichtungen. So bleiben selbst im Falle eines Defekts die Trümmer innerhalb der Kapsel gefangen. Dadurch wird verhindert, dass Schmutz auf die Wafer gelangt.
Das Gleichgewicht finden
Hochleistungsleuchten liefern zwar die notwendige Hitze für eine schnelle Verarbeitung der Wafer – doch es gibt einen Kompromiss. Wenn zu viel Energie in einen kleinen Raum gebracht wird, steigt der innere Druck des Halogengases an. Wenn man eine Leuchte mit zu hoher Leistung für sein Kühlsystem wählt, überhitzt die Kapsel und wird weich. Dadurch beginnt der Leuchtkörper sich zu krümmen – letztendlich platzt er. Man muss also die Leistung mit der Luftzufuhr der Anlage in Einklang bringen. Wenn die Luftzufuhr unzureichend ist, versagt die Leuchte frühzeitig. Ganz einfach.
Alles im Gleichgewicht halten
Auch kleine Details sind wichtig. Wir verwenden standardisierte Anschlüsse – denn eine lockere Verbindung führt zu Problemen. Lockerer Sitz der Anschlüsse verursacht Hotspots, an denen die Leuchten versagen. Ein guter Rat: Überprüfen Sie die Kontaktspannung alle 500 Stunden. Das dauert nur eine Minute – doch dadurch sparen Sie später Stunden an Reinigungsarbeit. Noch ein Tipp: Achten Sie auf die Verkabelung. Stellen Sie sicher, dass die Halterungen keinen mechanischen Druck auf den Quarz ausüben. Ein unter Druck stehender Leuchtkörper ist einfach nur ein Leuchtkörper, der bald zerbrechen wird. Bringen Sie die Ausrichtung in Ordnung, halten Sie die Kühlung konstant – dann werden Ihre Leuchten so lange funktionieren, wie sie sollen. Ihre Wafer werden es Ihnen danken.