Auf dem Produktionsboden kann ein Träger, der nach der Reinigung durch den Entstaubungsprozess noch Feuchtigkeit enthält, diese Feuchtigkeit nicht in den Lithografiebereich mitnehmen. Verbleibende Schichten und Wasserspuren verringern nicht nur die Effizienz – sie erzwingen außerdem weitere Bearbeitungsschritte und belasten das Thermomanagement beim nächsten Trocknungsprozess. Der Trockner muss eine konstante Trockenheit gewährleisten, ohne dabei Partikel hinzuzufügen oder den Träger thermisch zu belasten.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben den Reinigungs- und Trocknungsapparat für Wafer-Träger auf Kurzwell-infrarot-Heizung basierend konstruiert. Infrarotwellen dringen direkt in Wasser sowie dünne Schichten ein, sodass der Quarzträger nicht überhitzt wird. Dadurch entsteht ein gleichmäßiges Wärmefeld über die gesamte Fläche des Trägers – was zu einer Konstanz von ±0,1 °C in der kritischen Zone führt. Die Wiederholbarkeit wird durch die Lampenanordnung sowie die geschlossene Regelung gewährleistet: Jeder Zyklus führt zu demselben Temperaturprofil, sodass die Bedingungen während des Trocknungsprozesses nicht durch Schwankungen beeinflusst werden. Das System kann in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden; es ist außerdem so konzipiert, dass während der Betrieb keine Partikel entstehen. Zudem ist der Abluftweg so gestaltet, dass keine Partikel wieder in den Prozesskreislauf gelangen können.
Warum das in der Produktion wichtig ist
In der Produktion beseitigt dieser Trockner die Unsicherheiten bei der Überführung der Wafer vom Reinigungsprozess in den Lithografieprozess. Der Fotolack ist empfindlich gegenüber Temperaturschwankungen – daher können selbst kleine Hitzepunkte zu Abweichungen in der Dicke der Schichten führen. Unser gleichmäßiges Wärmefeld sorgt dafür, dass der Träger innerhalb des optimalen Temperaturbereichs bleibt. Dadurch werden kürzere Trocknungszyklen erreicht, der Gasverbrauch sowie der Energieverbrauch sinken – außerdem wird die Anzahl der beschädigten Wafer aufgrund von Wasserspuren reduziert. Das Modul ist für eine zuverlässige Funktion 24 Stunden am Tag ausgelegt – mit vorhersehbaren Temperaturen und einer robusten Lampenkonstruktion. So kann der Produktionsablauf ungestört weiterlaufen, ohne dass es zu unplanmäßigen Unterbrechungen kommt.
Was man beachten sollte
Die Infrarot-Trocknung funktioniert nur unter direktem Sichtkontakt – daher sind die Geometrie des Trägers sowie der Abstand zwischen den einzelnen Komponenten entscheidend. Wir legen spezifische Abstände und Orientierungsmöglichkeiten fest, um eine gleichmäßige Verteilung der Wärme zu gewährleisten. Wenn man von diesen Abständen abweicht, entstehen Schatten. Zudem benötigt die Installation elektrische Anlagen sowie Abluftsysteme, die den Anforderungen von Reinräumen entsprechen. Die Lampen haben außerdem eine begrenzte Lebensdauer – daher sollten Austausche im Rahmen der präventiven Wartung erfolgen, damit die Leistung und die Temperaturkonstanz gewährleistet bleiben.