Im Bereich der Lithografie gilt folgendes Prinzip: Die FOUPs kommen nach der Reinigung feucht herein – und die Zeit drängt. Wenn die Trocknungszeit auch nur geringfügig zu kurz oder zu lang ist, trocknet das Fotolack nicht richtig aus. Plötzlich konzentriert sich die Aufmerksamkeit auf die Fehlerbehebung statt auf die Erzielung einer guten Produktqualität. Wir haben daher einen Trockner entwickelt, der solche Probleme bereits im Vorfeld verhindert.
Was wirklich wichtig ist
Wir halten die thermische Homogenität auf Waferebene bei ±0,1 °C – damit jeder Wafer dieselben Bedingungen erhält. Kurzwelliges Infrarot sorgt für eine schnelle, direkte Erwärmung mit geringer thermischer Trägheit. Dadurch bleiben die Temperaturen während des Trocknungsprozesses konstant. Der Behälter ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Die verwendeten Materialien und Dichtungen sorgen dafür, dass es zu keiner Partikelbildung kommt. Die Wiederholgenauigkeit wird durch kalibrierte Sensoren sowie einen Schleifenalgorithmus gewährleistet, der die Auswirkungen von Massendifferenzen sowie Umwelteinflüssen kompensiert. Die Anlage arbeitet 24/7 – und die Felddaten zeigen keine unplanmäßigen Ausfälle während mehrmonatiger Betriebszeiten.
Warum es in der Praxis funktioniert
Es muss möglich sein, dass der Lösungsmittel des Fotolacks entweichen kann – und zwar nur das Lösungsmittel. Durch präzise Temperaturregelung wird der Trocknungsprozess vorhersehbar. Dadurch werden kritische Abweichungen minimiert, und die Anzahl der Defekte verringert sich. Die schnelle Erwärmung verkürzt die Zeitbedarf – ohne dass die Temperaturprofile gestört werden. Zudem senkt das geringe Wärmemass den Energieverbrauch während des Ruhezustands sowie beim Aufheizen. Das Ergebnis sind stabile Lithografieergebnisse, weniger Nacharbeiten und eine Anlage, die stets den Vorgaben entspricht.
Praktische Details
Die Installationsbedingungen müssen genau eingehalten werden. Der Trockner benötigt eine saubere Stromversorgung sowie eine richtige Erdung, damit elektrische Störungen die Sensoren nicht beeinträchtigen. Zudem muss ein separates Entlüftungssystem vorhanden sein, damit die Anforderungen der Reinraumklasse eingehalten werden können. Der Trockner passt zu den Standardmaßen der FOUPs – doch vor dem Einsatz sollten Sie sicherstellen, dass die Ausrichtung der Anlage sowie die Anschlüsse richtig sind. Führen Sie zunächst eine Kalibrierung durch, um die Beziehung zwischen Temperatur und Position zu bestimmen und die Einstellungen festzulegen.