Steuereinheit für digitale Infrarot Trockner
Warum wir auf große Öfen verzichten und stattdessen Infrarot-Technologie nutzen
Seien wir ehrlich: Konvektionsöfen sind eigentlich überholt. Es gibt...
Trockner zur Reinigung von Waferträgern
Auf dem Produktionsboden kann ein Träger, der nach der Reinigung durch den Entstaubungsprozess noch Feuchtigkeit enthält, diese Feuchtigkeit nicht in...
FOUP Trockner (Front Opening Unified Pod)
Im Bereich der Lithografie gilt folgendes Prinzip: Die FOUPs kommen nach der Reinigung feucht herein – und die Zeit drängt. Wenn die Trocknungszeit...