در فرآیند لیتوگرافی، روند کار مشخص است: قطعات FOUP پس از تمیزکاری، در حالت مرطوب وارد دستگاه میشوند؛ زمان نیز در حال گذر است. اگر دمای فر برای پختن قطعات کمی اشتباه باشد، فوتورزیست به جای التیام کامل، روی سطح قطعات رسوب میکند. در نتیجه، تلاشها برای کاهش نقصها بیفایده خواهد بود. ما دستگاه خشککن FOUP را طوری طراحی کردهایم که این اختلافات را قبل از شروع فرآیند، از بین ببرد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما یکنواختی دمایی در سراسر قطعات FOUP را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنیم؛ بنابراین هر ویفر دمای یکسانی خواهد داشت. استفاده از موجهای مادون قرمز کوتاه، باعث گرمایش سریع و مستقیم میشود؛ همچنین این روش باعث کاهش انرژی مصرفی در حالت بیفعالی نیز میشود. دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاک، در رده ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین مواد و قطعات مورد استفاده، به گونهای انتخاب شدهاند که تولید ذرات درون دستگاه صفر باشد. قابلیت تکرارپذیری دستگاه نیز از طریق سنسورهای دقیق و الگوریتمهای خاصی که اختلافات ناشی از جرم قطعات و شرایط محیطی را جبران میکنند، تأمین میشود. این دستگاه ۲۴/۷ کار میکند؛ دادههای عملیاتی نشان میدهد که در طول چند ماه کار، هیچ توقف غیرمنتظرهای رخ نداده است.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟
برای اینکه حلال فوتورزیست از روی سطح قطعات خارج شود، کنترل دقیق دما ضروری است؛ با این کنترل دقیق، فرآیند پختن قطعات قابل پیشبینی خواهد بود. کنترل دقیق ابعاد قطعات، باعث کاهش نقصها میشود؛ همچنین طراحی دستگاه باعث کاهش مصرف انرژی در حالت بیفعالی نیز میشود. نتیجه این کار، عملکرد پایدار لیتوگرافی، کاهش تعداد قطعات نیازمند تعمیر، و عملکرد دستگاه در محدوده استانداردها خواهد بود.
جزئیات عملی:
محدودیتهای نصب دستگاه بسیار دقیق هستند؛ لازم است که دستگاه از منبع تغذیه تمیز و سیستم زمینگیری مناسبی برخوردار باشد تا نویز الکتریکی به سنسورها نرسد. همچنین باید مسیر تخلیه گازهای ناشی از فرآیند نیز در نظر گرفته شود تا دستگاه در رده استانداردهای مربوطه قرار بگیرد. این دستگاه در اندازههای استاندارد FOUP مناسب است؛ اما قبل از استفاده، باید تطابق ابزارها با FOUP و رابطهای اتصال آنها بررسی شود. همچنین باید یک بار کالیبراسیون انجام شود تا دما و موقعیت قطعات به درستی مشخص شوند.