گرمکن ویفر با مصرف انرژی کم
متوقف کنید شکستن لامپها را: حفظ تمیزی وایفرها در صورت خرابی لامپها
در خطوط تولید با ظرفیت بالا، خرابی لامپ فقط یک مشکل کوچک نیست؛ بلکه یک فاجعه...
فاصله ایمن برای گرم کردن ویفر
چرا از نور مادون قرمز به جای هوای گرم برای پردازش ویفرها استفاده میشود؟
اگر هنوز به استفاده از هوای گرم برای پردازش ویفرها تکیه میکنید، در واقع...
سنسور دما برای ابزار ویفر
جلوگیری از خرابی لامپها و نابودی ویفرها
در دستگاههای تولید ویفر با ظرفیت بالا، خرابی لامپها مشکلی ساده نیست؛ بلکه یک فاجعه واقعی است.
وقتی که پوشش...
هیتر خشککن ویفر سنسور MEMS
خشککردن صفحات سنسورهای MEMS به درستی
خشککردن صفحات سنسورهای MEMS کاری پیچیده است؛ اگر کنترل دما را به درستی انجام ندهید، با مشکلاتی مانند چسبندگی...
رفلکتور برای لامپ خشککن ویفر
بهرهبرداری حداکثری از فرآیند خشک کردن ویفرها
هنگام خشک کردن ویفرها، باید تعادل مناسبی برقرار شود. لازم است که مواد حلکننده را از روی ویفرها برداریم...
ویفر خشکشدن سریع پس از شستشو با لامپ
در خط تولید، کیفیت خشک کردن ویفر، به همان اندازه مهم است که کیفیت شستشو نیز مهم است. ردپاهای آب، خطوط ناشی از شستشو، و رطوبت باقیمانده پس از شستشو،...
خشککن و تمیزکننده حامل ویفرها
در فرآیند تولید، حاملهای مرطوبی که از دستگاههای پاککننده خارج میشوند، نمیتوانند رطوبت را وارد بخش لیتوگرافی کنند. لایههای باقیمانده و اثرات...
عنصر گرمایشی اکسیداسیون وفر
در فرآیند اکسیداسیون، تغییرات دمایی نه تنها به صورت اعدادی روی نمودارها ظاهر میشوند، بلکه تأثیرات منفی زیادی بر بازدهی فرآیند دارند. یک نقطه داغ با...
حسگر IR دقیق برای ویفر
در خط تولید ویفر 300 میلیمتری نمیتواند در حین نرمپخت و سختپخت دچار انحراف شود. یک نقطه داغ ۲ درجه سانتیگراد در سراسر سطح باعث تغییر در CD، ایجاد...