جلوگیری از خرابی لامپها و نابودی ویفرها
در دستگاههای تولید ویفر با ظرفیت بالا، خرابی لامپها مشکلی ساده نیست؛ بلکه یک فاجعه واقعی است.
وقتی که پوشش کوارتزی لامپ ترک میخورد، تکههای شیشه و تانگستن مذاب روی ویفرها میریزند؛ این امر باعث نابودی کل محموله تولید شده میشود. بعد از آن، باید کل محفظه را تمیز کرد؛ هیچ کس دوست ندارد آخر هفتهاش را صرف این کار کند.
مقابله با گرما
ما لامپهای مادون قرمز خود را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند در شرایط دائمی و شدید دستگاههای نیمههادی کار کنند. اغلب، لامپها به دلیل انبساط حرارتی ناهموار خراب میشوند؛ یعنی شیشه نمیتواند با تغییرات دما کنار بیاید.
برای رفع این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این ماده مقاوم است و میتواند در شرایط دمایی شدید نیز سالم بماند.
اما ما فقط به همین جا ختم نمیکنیم؛ از روشهای اضافی نیز برای حفاظت از لامپها استفاده میکنیم. ما الکترودهای لامپ را در غلافهای مقاوم در برابر شکست قرار میدهیم؛ به این ترتیب، حتی اگر رشتههای الکتریکی داخل لامپ پاره شوند، تکههای شیشه درون لامپ باقی میمانند و از آسیب رسیدن به ویفرها جلوگیری میشود.
تعادل بین توان و جریان هوا
لامپهای پرتوان، گرمای لازم برای پردازش سریع ویفرها را فراهم میکنند؛ اما این کار مستلزم تعادلی است. اگر توان بیشتری به یک فضای کوچک وارد شود، فشار داخلی گاز هالوژن افزایش مییابد؛ اگر لامپی با توان بیش از حد انتخاب شود، پوشش لامپ داغ شده و نرم میشود؛ در نتیجه لامپ خراب میشود.
بنابراین باید توان لامپ را با جریان هوای دستگاه تعادل داد؛ اگر جریان هوا کافی نباشد، لامپ زودتر خراب خواهد شد.
حفظ عملکرد لامپها
جزئیات کوچک نیز اهمیت دارند؛ ما از کانکتورهای استاندارد استفاده میکنیم؛ زیرا اتصالات نامناسب میتواند منجر به خرابی لامپ شود. اتصالات نامناسب باعث ایجاد نقاط گرم میشوند؛ این نقاط گرم، دلیل اصلی خرابی لامپها هستند.
یک قاعده خوب این است که هر ۵۰۰ ساعت، تنش اتصالات را بررسی کنید؛ این کار فقط یک دقیقه طول میکشد، اما میتواند ساعتها زمان صرفهجویی کند.
یک نکته دیگر: مراقب سیمها باشید؛ مطمئن شوید که پایههای سیمها فشار مکانیکیی بر روی کوارتز وارد نمیکنند؛ لامپی که تحت فشار باشد، در معرض خطر شکست قرار دارد.
اگر تنظیمات لامپها درست باشد و سیستم خنککننده نیز به خوبی کار کند، لامپها میتوانند تا مدت طولانی کار کنند؛ ویفرها نیز از این موضوع سپاسگزار خواهند بود.