در فرآیند تولید، حاملهای مرطوبی که از دستگاههای پاککننده خارج میشوند، نمیتوانند رطوبت را وارد بخش لیتوگرافی کنند. لایههای باقیمانده و اثرات آب، نه تنها باعث کاهش بازدهی میشوند، بلکه مجبور به انجام کارهای تکراری میکنند و همچنین بار حرارتی مورد نیاز برای فرآیندهای بعدی را افزایش میدهند. دستگاه خشککن باید بتواند خشکسازی یکنواختی انجام دهد، بدون اینکه ذراتی اضافه شود یا حامل تحت فشار حرارتی قرار گیرد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما دستگاه خشککن حاملهای ویفر را بر اساس استفاده از گرمایش مادونقرمز کوتاهامواج ساختهایم. این روش باعث میشود که حاملها بدون گرم شدن بیش از حد، خشک شوند. این امر منجر به ایجاد یک میدان حرارتی یکنواخت در سطح حاملها میشود؛ در نتیجه، تفاوت دمایی در نواحی کلیدی در حد ±۰٫۱ درجه سانتیگراد خواهد بود. قابلیت تکرارپذیری این دستگاه در سیستم کنترل بستهبندی لامپها وجود دارد؛ بنابراین، هر چرخه، دمای یکسانی را تجربه میکند. این سیستم در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ کار میکند؛ همچنین، این سیستم بدون تولید هیچ ذرهای در حین کار عمل میکند. مسیر خروجی گازها نیز به گونهای طراحی شده است که از ورود مجدد گازها جلوگیری شود.
چرا این موضوع در تولید اهمیت دارد؟ در فرآیند تولید، این دستگاه باعث کاهش عدم قطعیتهای ناشی از انتقال حاملها از مرحله پاککردن به مرحله لیتوگرافی میشود. فوتورزیست به تاریخچه حرارتی حساس است؛ بنابراین، حتی کوچکترین نقاط گرم میتوانند باعث اختلال در خطوط تولید شوند. میدان حرارتی یکنواخت این دستگاه، حاملها را در محدوده حرارتی مناسب نگه میدارد. در نتیجه، چرخههای خشککردن کوتاهتر میشوند، مصرف گاز و انرژی کاهش مییابد و تعداد حاملهای با کیفیت پایین نیز کمتر میشود. این مدول برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ بنابراین، عملکرد آن پیشبینیپذیر است و میتواند بازدهی تولید را حفظ کند.
چه چیزهایی را باید در نظر گرفت؟ خشککردن با استفاده از مادونقرمز کوتاهامواج، نیازمند دید مستقیم است؛ بنابراین، شکل حاملها و فاصله بین آنها اهمیت دارد. ما فاصله و جهت قرارگیری حاملها را به گونهای تنظیم کردهایم که یکنواختی حفظ شود؛ اگر از این فواصل تخطی شود، سایههایی ایجاد خواهد شد. نصب این دستگاه نیازمند سیستمهای الکتریکی و سیستمهای خروجی گاز مناسب در اتاقهای تمیز است؛ همچنین، مدول لامپها دارای عمر محدودی است؛ بنابراین، باید تعویض لامپها در قالب برنامههای نگهداری پیشگیرانه انجام شود تا کیفیت عملکرد دستگاه حفظ شود.