در فرآیند اکسیداسیون، تغییرات دمایی نه تنها به صورت اعدادی روی نمودارها ظاهر میشوند، بلکه تأثیرات منفی زیادی بر بازدهی فرآیند دارند. یک نقطه داغ با دمای ۲ درجه سانتیگراد میتواند ولتاژهای لازم برای فرآیند را مختل کند و هفتهها تلاش برای تنظیمات دقیق را بیفایده کند. ما عناصر گرمایشی مورد استفاده در فرآیند اکسیداسیون را طوری طراحی کردهایم که این مشکلات را از بین ببرند.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ این عناصر بر پایه کوارتز ساخته شدهاند و دارای قابلیت پاسخگویی سریع و پایداری بالایی هستند. یکنواختی دمای سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین تکرارپذیری فرآیند در هر چرخه کمتر از ۰.۲ درجه سانتیگراد است. برای ساختارهای نازک، از امواج کوتاه یا متوسط استفاده کنید؛ در حالی که برای ساختارهای ضخیم، از روشهای کنترل شده برای گرم کردن استفاده کنید.
بدنه کوارتزی این عناصر کاملاً تمیز باقی میماند؛ بنابراین مناسب برای استفاده در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ است. توان مورد نیاز بر اساس ساختار محفظه تعیین میشود؛ همچنین ولتاژهای استاندارد و طراحی خاصی برای کنترل سیگنالهای مربوطه وجود دارد.
چرا این عناصر در فرآیندهای اکسیداسیون/دیفیوژن موفق عمل میکنند؟ در فرآیندهای اکسیداسیون و دیفیوژن، این عناصر دمای مورد نیاز را به سرعت تنظیم میکنند؛ بنابراین میتوانید زمان گرم کردن را کاهش دهید بدون اینکه کنترل ضخامت لایه اکسید از بین برود. این امر منجر به کاهش نوسانات در کیفیت محصول، کاهش نیاز به تنظیمات اضافی، و کاهش مواد باکیفیت پایین ناشی از نقصهای ناشی از فشارهای مختلف میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا این عناصر فقط در زمان لازم گرم میشوند و دمای آنها کنترل میشود. قابلیت اطمینان این عناصر نیز بالاست؛ زیرا این دستگاهها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند و نوسانات کمتر از ۵٪ در خروجی آنها وجود دارد. بنابراین، تعمیرات برنامهریزیشده کمتر لازم است و زمان توقف غیرمنتظره نیز کمتر خواهد بود.
چه چیزهایی را باید از همان ابتدا در نظر بگیرید؟ نصب این عناصر به فاصلههای مناسب نسبت به محفظه بستگی دارد؛ اگر فاصلهها مناسب نباشد، اختلالاتی در فرآیند ایجاد خواهد شد. این عناصر با رابطهای استاندارد فرآیندهای گرمایشی سازگار هستند؛ اما همچنان باید کنترل حرارتی برای مواد و ساختارهای مورد استفاده را بررسی کنید.
توصیه میشود که یک آزمایش کوتاه انجام دهید تا تنظیمات لازم انجام شود. در ابتدا، کمی تنظیمات PID لازم است؛ اما پس از آن، فرآیند به خوبی کنترل خواهد شد.