بهرهبرداری حداکثری از فرآیند خشک کردن ویفرها
هنگام خشک کردن ویفرها، باید تعادل مناسبی برقرار شود. لازم است که مواد حلکننده را از روی ویفرها برداریم یا واکنش شیمیایی مناسبی را ایجاد کنیم؛ اما نمیتوانیم دمای مورد نیاز را بالا ببریم، زیرا این کار باعث آسیب به سطح ویفر میشود.
در همین جاست که بازتابدهندهها میتوانند کمک کنند. ما از بازتابدهندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ زیرا واقعاً نمیخواهیم انرژی مادون قرمز از دستگاه خارج شود و هدر برود.
چرا طلا؟
اکثر افراد از آلومینیوم برای این منظور استفاده میکنند، اما آلومینیوم برای انرژی مادون قرمز با طول موج بلند مناسب نیست؛ زیرا اجازه میدهد گرمای زیادی از آن عبور کند. طلا متفاوت است؛ با استفاده از لایه طلا که در شرایط خلأ تهیه میشود، میتوانیم تقریباً تمام انرژی مادون قرمز را دوباره به جای مناسبشان فرستیم.
شکل بازتابدهنده اهمیت دارد
شکل بازتابدهنده تعیین میکند که گرما چگونه به ویفر برخورد میکند. شکل پارابولیک، پرتو گرما را متمرکز میکند، در حالی که شکل بیضوی، گرما را در نقطه خاصی متمرکز میکند. اگر مشخصات بازتابدهنده صحیح نباشد، مشکلاتی پیش خواهد آمد؛ ممکن است نقاط گرم روی ویفر ایجاد شود، که این امر به معنای خشک شدن ناهموار ویفر است. برای جلوگیری از این امر، باید مطمئن شویم که لامپ در مرکز محور نوری قرار دارد. دقت در این موضوع بسیار مهم است.
مشکلات مربوط به طلا
طلا برای انتقال گرما عالی است، اما نرم است؛ بنابراین نمیتواند در برابر سایش مقاومت کند. اگر از مواد شیمیایی قوی یا پدهای ساینده برای تمیز کردن سطح ویفر استفاده کنید، لایه طلا خراب خواهد شد. در این صورت، کارایی دستگاه کاهش خواهد یافت. بنابراین باید با این قطعات با احتیاط برخورد کرد. استفاده از سپر کوارتزی برای محافظت از این قطعات، روش بهتری است.
نکته مهم برای تنظیم دستگاه
هنگام راهاندازی این سیستمها، باید به این نکته توجه کنید که کارایی بالاتر، به معنای جذب انرژی بیشتر توسط ویفر است. ممکن است نیاز داشته باشید که توان دستگاه را کم کنید یا سرعت حرکت ویفر را افزایش دهید تا از خشک شدن بیش از حد ویفر جلوگیری شود. همچنین، فراموش نکنید که از سپرهای محافظتی برای جلوگیری از جذب انرژی توسط سایر قطعات دستگاه استفاده کنید.