چرا از نور مادون قرمز به جای هوای گرم برای پردازش ویفرها استفاده میشود؟
اگر هنوز به استفاده از هوای گرم برای پردازش ویفرها تکیه میکنید، در واقع نیمی از زمان خود را صرف انتظار میکنید.
مسئله، داشتن تجهیزات «بهتر» نیست؛ بلکه مسئله، زمان است. در فرآیندهای پردازش عمیق، استفاده از هوا روشی بسیار ضعیف برای انتقال حرارت است. شما دقایق زیادی را صرف انتظار میکنید تا هوا حرارت را به سطح ویفر منتقل کند.
نور مادون قرمز این واسطه را حذف میکند؛ این نور، انرژی را مستقیماً به سطح ویفر منتقل میکند.
هزینه واقعی انتظار
فکر کنید که هوای گرم چگونه کار میکند: ابتدا باید محفظه را گرم کرد، سپس هوای داخل آن را، و در نهایت ویفر را. این فرآیند بسیار آهسته است. هر بار که دمای محیط تغییر میکند، این تأخیر را احساس خواهید کرد.
لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسند. به این ترتیب، بزرگترین مشکل شما از بین میرود. زمان پردازش کاهش مییابد، زیرا انتقال حرارت تقریباً بلافاصله اتفاق میافتد. این روش بسیار سریع است… و این موضوع، کل چیزها را برای شما تغییر میدهد.
یافتن «نقطه بهینه»
البته، نمیتوانید فقط لامپی را در آنجا قرار دهید و کار تمام شود. فاصله بین منبع نور مادون قرمز و سطح ویفر، بسیار مهم است.
اگر فاصله را خیلی کم در نظر بگیرید، ممکن است نقاط داغی روی سطح ویفر ایجاد شود؛ یا حتی ویفر دچار تغییر شکل شود. اگر فاصله خیلی زیاد باشد، شدت حرارت کافی برای پردازش ویفر وجود نخواهد داشت.
ما معمولاً این موضوع را بر اساس طول موج لامپ تعیین میکنیم. نور مادون قرمز با طول موج کوتاه، عمق بیشتری در مواد نفوذ میکند؛ اما این روش نیاز به دقت زیادی در تنظیم فاصله دارد؛ در غیر این صورت، سطح ویفر آسیب خواهد دید.
مشکل: مدیریت حرارت
نور مادون قرمز، انرژی بسیار زیادی تولید میکند؛ به همین دلیل از آن استفاده میشود، اما همین موضوع، کار را پیچیده میکند.
هوای گرم، حرارت را به طور یکنواخت پخش میکند؛ اما نور مادون قرمز، حرارت را در یک جهت منتقل میکند. اگر تنظیمات دقیق نباشد، حرارت به طور یکنواخت در سطح ویفر پخش نخواهد شد.
علاوه بر این، از آنجایی که نور مادون قرمز، هوا را گرم نمیکند، سیستم سرمایشی شما باید بتواند با افزایش سریع حرارت کنار بیاید. اگر سیستم سرمایشی شما نتواند با این تغییرات کنار بیاید، فرآیند پردازش شما مختل خواهد شد. بنابراین، باید مطمئن شوید که سیستم سرمایشی شما نیز به همان اندازه قوی باشد که سیستم گرمایشی شما.