در یک سالن تولید 24/7، وقت ندارید تا پروسه پخت چسب را تحت نظر داشته باشید. یک نوسان دمایی، یک پخت غیر یکنواخت، و با از دست دادن پروفایل فوتورزیست، مشکلات لبه چسب و یا حفرههای خط اتصال مواجه میشوید که مستقیماً وارد مرحله بستهبندی میشوند. وقتی بودجه حرارتی محدود و زمان کارکرد دستگاه غیرقابل مذاکره است، پخت مادون قرمز برای چسبهای نیمهرسانا روش عملی برای انجام کار است.
آنچه در پشت صحنه اهمیت دارد
سیستم را حول انتشار نزدیک به مادون قرمز (NIR) که با جذب چسب هماهنگ شده است، طراحی کردیم تا انرژی مستقیماً وارد ماده شود نه گرم کردن حامل یا فضای اطراف آن. افزایش سریع و کنترلشده دما با یکنواختی در سطح ویفر در محدوده ±0.1°C در سراسر ناحیه فعال دریافت میکنید. سازگاری با اتاق تمیز مهندسی شده است: استفاده از مواد با گازدهی پایین، اپتیکهای مهر و موم شده و مسیر کنترل شده ذرات تا بتوانید در محیطهای کلاس 1–100 بدون دغدغه آلودگی کار کنید. پنجرههای پخت فوتورزیست — شامل پخت نرم و سخت — قابل تکرار باقی میمانند و بازیابی نقطه تنظیم پس از باز و بسته کردن درب در چند ثانیه صورت میگیرد.
دلیل پایداری آن در خط تولید
در خطوط لیتوگرافی و آمادهسازی باند، سودمندی آن عملی است. پخت NIR مرحله حرارتی را کوتاه کرده، سرعت تولید را افزایش میدهد بدون اینکه دماهای اوج را به حدی برساند که باعث انحراف فیلمها یا وارد شدن تنش شود. مصرف توان پایینتر است چون گرم شدن مستقیم و هدفمند است و پروفایل حرارتی از بچی به بچ دیگر ثابت میماند. طراحی برای قابلیت اطمینان 7×24 انجام شده: قطعاتی که برای کار مداوم ریت شدهاند، مدیریت جرم حرارتی برای جلوگیری از تغییر دما و کنترلهایی که هر اجرا را ثبت میکنند تا فرایند قابل ردیابی باشد. در عمل، این یعنی دفعات دورریز کمتر، تعمیرات مجدد کمتر و پنجرههای زمانبندی شده برای نگهداری که قابل برنامهریزی هستند.
آنچه باید پیش از شروع درست انجام دهید
پخت NIR خط دید مستقیم است، بنابراین هندسه فیکسچر و شکلدهی پرتو اهمیت دارد—سایهدار شدن ممکن است باعث پخت ناقص موضعی شود اگر قطعه به شکل یکنواخت ارائه نشود. یکپارچهسازی همچنین به معنی تطبیق جایگاه کوره، ورودی/خروجی و قفلهای ایمنی با دستگاه گیرنده یا مسیر حمل است. اجرای آزمایشی اولیه را با پروفایل حرارتی تأمینکننده چسب خود هماهنگ کنید و سپس دستورالعمل را قفل نمایید. پس از تنظیم، مرحله پخت مانند یک ثابت فرآیندی عمل میکند و دیگر یک متغیر متغیر نیست که در هر شیفت باید دنبال شود.