
چرا ما برای ساخت سنسورهای بیولوژیکی از لامپهای مادون قرمز استفاده کردیم؟ هنگام ساخت سنسورهای بیولوژیکی، مراحل خشک کردن و تثبیت مواد بسیار مهم هستند. برای مدت طولانی، همه از فرهای بزرگ برای این منظور استفاده میکردند. اما مشکل اینجاست که گرم کردن یک محفظه بزرگ فقط برای پردازش یک ویفر کوچک، باعث هدر رفتن زمان و انرژی میشود. به همین دلیل، ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز روی آوردیم. در این روش، انرژی مستقیماً به سمت سطح ماده ارسال میشود؛ این روش کارآمدتر و سریعتر است. سرعت ما معمولاً از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این لامپها میتوانند انرژی زیادی را در فضای بسیار کوچکی تولید کنند. وقتی از الیاف کوارتز با توان بالا استفاده میکنیم، گرما تقریباً بلافاصله ایجاد میشود؛ دیگر نیازی نیست منتظر بمانیم تا یک هیتر معمولی دمای مورد نظر را برساند. ما این روش را «فرآوری حرارتی سریع» مینامیم؛ این روش بسیار مفید است، زیرا به این معناست که ویفرها مدت زیادی در معرض گرما قرار نمیگیرند؛ این امر از تخریب مواد بیولوژیکی حساس جلوگیری میکند. تنظیم نور آلودگی، دشمن اصلی در اتاقهای پاک است؛ برای جلوگیری از خارج شدن گازهای نامطلوب، از پوششهای کوارتز با خلوص بالا برای لامپها استفاده میکنیم. اما برای اینکه این روش مؤثر باشد، باید روکش سطح لامپ را تنظیم کنیم؛ این کار باعث میشود طیف نور دقیقاً مطابق با نیاز ماده مورد نظر باشد. اگر طول موج نور درست انتخاب نشود، انرژی فقط از سطح ماده منعکس میشود؛ در واقع، شما برای نوری پول پرداختهاید که هیچ کاری انجام نمیدهد. وقتی طول موج درست انتخاب شود، انرژی به درستی به سمت هدف میرسد. مزایا و معایب از مزایای این روش میتوان به کاهش مصرف انرژی اشاره کرد؛ این امر باعث کاهش اثرات زیستمحیطی میشود؛ همچنین، این روش فضای کمتری را اشغال میکند و نیازی به کار بیشتر سیستمهای تهویه نیست. اما این روش کاملاً بینقص نیست؛ باید مراقب بود. لامپهای با چگالی بالا میتوانند نقاط گرم ایجاد کنند؛ اگر ویفر را به درستی چرخانده نکنید یا فاصله آن را درست تنظیم نکنید، گرمایش ناهموار خواهد بود. همچنین، اگر سعی کنید توان لامپ را بیش از حد بالا ببرید، لبههای سنسورها آسیب خواهد دید. برای کنترل این مشکلات، به کنترلکنندههای PID نیاز داریم؛ از آنجایی که کوارتز به سرعت واکنش نشان میدهد، کنترلکنندهها نیز باید به همان سرعت عمل کنند تا اوضاع پایدار بماند.