در کارخانههای تولید تراشه، نوسانات دمایی مطلقاً قابل قبول نیستند. هرگونه تغییر در دمای فرآیندهای حرارتی، یا عدم کنترل صحیح دما، منجر به مشکلاتی مانند اختلال در کنترل ضخامت لایههای روی سطح تراشه، وجود لایههای اضافی، و کاهش بازده تولید میشود. ما لامپهای مورد استفاده برای فرآیندهای حرارتی را طوری طراحی کردهایم که با الزامات تراشههای پیشرفته سازگار باشد.
از نظر فنی، مهمترین چیز، کنترل دماست. ما از لامپهای مادون قرمز با موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این لامپها انرژی را مستقیماً به سطح تراشه منتقل میکنند. این لامپها توانایی حفظ یکنواختی دمایی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد را دارند؛ بنابراین هر تراشه از یک شرایط حرارتی یکسان برخوردار میشود. خروجی این لامپها در محدوده ۳۰۰ تا ۵۵۰ درجه سانتیگراد ثابت باقی میماند، و تکرارپذیری آنها بالاتر از ±۰.۲ درجه سانتیگراد است.
استانداردهای اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ نیز رعایت میشود. ساختار این لامپها به گونهای است که از تولید ذرات اضافی جلوگیری شود؛ همچنین، سیستمهای حسگری موجود، تأمین انرژی را حتی در شرایط تغییرات ولتاژ نیز کنترل میکنند.
در فرآیند لیتوگرافی، فرآیند حرارتی نرم، پروفایل حلالهای مورد استفاده برای فتوسensitiv را تعیین میکند؛ در حالی که فرآیند حرارتی سخت، تصویر روی سطح تراشه را ثابت میکند. با استفاده از این لامپها، چسبندگی بهتری بین لایهها حاصل میشود، مشکلات ناشی از لایههای اضافی کاهش مییابد، و نتایج فرآیند پاکسازی بهتر خواهد بود. فرآیندهای حرارتی مربوط به لایههای نازک و فرآیندهای دوپینگ نیز با کنترل دقیقتری انجام میشوند.
مزایای استفاده از این لامپها واضح است: کاهش تعداد تولیدات بازسازی، پیشبینی قابل اعتماد میزان تولید، و کاهش مقدار مواد بازیافتی. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرمایش به صورت دقیق و بر حسب نیاز انجام میشود. همچنین، زمان کارکرد لامپها نیز حفظ میشود؛ این لامپها میتوانند ۲۴ ساعته کار کنند، بدون اینکه کیفیت خروجی آنها تغییر کند.
جزئیات عملی مربوط به این لامپها این است: این لامپها نیاز به منبع تغذیه مخصوص و ایزولاسیون حرارتی مناسب در ناحیه فرآیند دارند. همچنین، تطبیق هندسه بازتابندهها با ابعاد محفظه مربوطه، برای حفظ یکنواختی دما، ضروری است.
انتظار داشته باشید که زمان تنظیمات لازم برای استفاده از این لامپها، کوتاه باشد. پس از انجام این تنظیمات، فرآیند تولید قابل تکرار خواهد بود، و آماده برای بازرسی خواهد بود.