Maintenir votre salle propre de classe 100 vraiment propre
Si vous chauffez une pièce de travail dans une chambre à vide ou une salle propre de classe 100, vous connaissez bien ce cauchemar : une seule particule de poussière ou un gaz chimique peut tout gâcher – votre lot entier de wafer ou de revêtements optiques devient alors inutilisable.
La plupart des éléments chauffants standards ne sont pas conçus pour cela. Ils fuient des substances ou s’oxydent, ce qui revient à jeter du brillantin dans une salle d’opération. Nous résolvons ce problème en utilisant des lampes infrarouges en quartz synthétique de haute pureté.
Lutter contre les émissions gazeuses
Les matériaux que nous utilisons sont du quartz en silice fusionnée, débarrassé de toutes impuretés métalliques. Pourquoi ? Parce qu’à température opérationnelle, on ne veut pas que ces lampes émettent des composés organiques volatils. Le verre standard se ramollirait ou se briserait sous cette pression. Notre quartz reste rigide et transparent, même lorsque la température est très élevée. De plus, nous n’utilisons pas de colles bon marché. Chaque joint est soit soudé, soit fixé mécaniquement. Aucune colle, aucune émission gazeuse, aucune partie endommagée.
Gérer l’environnement à vide
Les environnements à vide sont difficiles à gérer, car il n’y a pas d’air pour évacuer la chaleur. Sans refroidissement par convection, la coque de la lampe peut facilement surchauffer et se briser. Pour éviter cela, nous utilisons des lampes qui émettent un rayonnement à ondes courtes à haute densité. L’objectif est que l’énergie atteigne bien la cible, sans chauffer les parois de la chambre.
Un petit conseil : assurez-vous que vos supports de fixation soient faits de métaux à faible expansion. S’ils s’étirent trop pendant les cycles thermiques, ils peuvent casser le tube. C’est un détail important qui évite beaucoup de problèmes.
Mettre en service la lampe
Nous livrons ces lampes avec des connecteurs compatibles avec les environnements à vide, afin de faciliter leur installation. Lorsque vous les connectez, faites attention au couple appliqué sur les capots d’extrémité. Il faut obtenir un étanchéité parfaite, mais si vous allez trop loin, vous risquez de endommager le quartz.
Si vous utilisez des puissances élevées, vérifiez bien que le système de refroidissement peut effectivement évacuer la chaleur des extrémités de la lampe. Ces lampes sont conçues pour remplacer directement vos équipements actuels de haute pureté. Un dernier conseil : surveillez la capacité de votre pompe à vide lors du premier démarrage. La phase initiale de chauffage peut être exigeante, il est donc important de s’assurer que votre système peut y faire face.