בחדר הייצור, שינוי בטמפרטורה של החדר ניכר מיד – וזה גורם לחוסר אחידות בעובי השכבות ולירידה באיכות המוצר. לא ניתן לתקן את זה לאחר מכן. החימום חייב לשמור על תנאי החום האחידים, מהשבב הראשון ועד האחרון.
מה חשוב מבחינה טכנית?
יצרנו את גוף החימום של CVD על בסיס רכיבי הלוגן באור אינפרא-אדום בעלי גל ארוך, הממוקמים מאחורי חלונות קוורץ. החום מגיע ישירות לשטח השבב, והאחידות בטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C. הפרופיל התרמי חוזר על עצמו מדף לדף, כך שהתנאים התרמיים נשארים קבועים.
המערכת תואמת את תנאי חדרי הייצור מסוג Class 1–100. החומרים והתכנון של המערכת נבחרו כדי למזער את ייצור החלקיקים. בפועל, זה אומר פחות זיהומים ופחות פגמים במוצרים.
למה המערכת עובדת טוב בשלבי הייצור האמיתיים?
גוף החימום מאפשר שמירה על שלמות השבבים. בתהליכי ייבוש השבבים ועיבוד הפוטורזיסט, הוא מספק חום אחיד, מה שמאפשר שליטה טובה בהסרת החומרים המסיסים, מבלי לפגוע בשכבה שעל השבב.
בתהליכי CVD, הוא מאפשר שמירה על טמפרטורת ההטלה קבועה, כך שעובי והרכב השכבה נשארים בגבולות הרצויים. כתוצאה מכך, יש פחות זבל ופחות צורך בעבודות תיקון. התוצאה היא שליטה טובה יותר בממדים החשובים, תשואה גבוהה יותר, וצריכת אנרגיה נמוכה יותר, בזכות פרופילי חימום יעילים.
הפרטים שגורמים לכך שהמערכת תעבוד כראוי
ההתקנה תלויה באינטרפייסים התרמיים ובדרך זרימת הגז. אם אלו לא נכונים, עלולים להיווצר אזורים חמים או זיהום בין השבבים.
גוף החימום עובד בצורה הטובה ביותר כאשר גאומטריית החדר ומעמד השבבים תואמים את דפוס החימום. אם זה לא קורה, עלולים להיווצר אי-אחידויות בטמפרטורה.
יש לבצע בדיקות קצרות כדי למדוד את הטמפרטורה בכל חלקי השבב, וכדי לכייל את נקודות ההגדרה לפי המדידות האמיתיות של השבבים.