בשטח הוואפר בקוטר 300 מ"מ לא יכול להרשות לעצמו להדרדר במהלך האפייה הרכה והאפייה הקשה. נקודת חום של 2°C על פני השטח תזיז את ה-CD, תשאיר שאריות,...

על רצפת המפעל, סטיות תרמיות לא מגיעות עם אזהרה — הן מתבטאות בירידת תוצרת. סטייה של 0.5°C במהלך אפיית הפוטורזיסט מספיקה לדחוף את בקרת המידות הקריטיות...