בשטח
הוואפר בקוטר 300 מ"מ לא יכול להרשות לעצמו להדרדר במהלך האפייה הרכה והאפייה הקשה. נקודת חום של 2°C על פני השטח תזיז את ה-CD, תשאיר שאריות, ותהפוך אצוות שלמות לפסולת. אתה זקוק לשליטה בטמפרטורה שמתפקדת כמו פרמטר תהליך אמיתי, ולא כמו ניחוש.
מה חשוב מתחת למכסה המנוע
בנינו את חיישן ה-IR המדויק לעבודה עם וואפרים כדי לשמור על אחידות תרמית של ±0.1°C על פני שטח האפייה. חזרת נקודת ההגדרה נשמרת בטווח של ±0.05°C בין ריצות. הוא פועל בחדר נקי מדרגה 1–100, עם חומרים וגימורים שאינם פולטים חלקיקים. אפס פליטת גזים, אפס שחרור, ולא דבר שמזהם את הפוטורזיסט. הוא מתפקד עם מקורות הלוגן, קוורץ ו-NIR, והתגובה הספקטרלית נשארת יציבה כך שהספיגה אחידה על פני הוואפר. אתה מקבל פלט יציב מעבר ל-5,000 שעות, עם פחות מ-5% סטייה.
למה זה מחזיק בליתוגרפיה
בליתוגרפיה, האפייה של הפוטורזיסט קובעת את התקציב התרמי. עם החיישן הזה, אתה מגיע למטרה באצווה הראשונה ונשאר שם, אצווה אחרי אצווה. מספר התיקונים יורד. שליטת ה-CD מתהדקת, פגמים יורדים, והיבול הופך לצפוי. מכיוון שהטווח לשליטה הדוק, אתה לא אופה יותר ממה שנחוץ, כך ששימוש האנרגיה יורד. הפלטפורמה תומכת בכלים בקוטר 150 מ"מ ו-300 מ"מ ומשתלבת בתנורי וא מכשירים קיימים, שומרת על חלון התהליך במקום שהוא צריך להיות—בתקנים.
הפרטים המעשיים
ההתקנה דורשת חיבור תרמוקופל מגן ייחודי ומיפוי של סטיית כיול בהתאם לגיאומטריה של החדר שלך. זמן ההפעלה קצר: כוונן את האמיסיביות ואת זמן השהייה עבור ערימת הרזיסט שלך. החיישן מדורג לפעולה 24/7, אך אם הלחות הסביבתית עולה על 60% RH, אתה זקוק לשאיבה פעילה כדי לשמור על האופטיקה יבשה. הרץ הכשרה של 24 שעות כדי לקבע את המתכון, ואז הכן אותו לעבודה.