בחדר הייצור, איכות הייבוש תלויה באיכות השטיפה. סימני מים, כתמים ולחות שנשארת לאחר השטיפה יפגעו באיכות המוצר – במהירות, בעיקר בטווח של פחות מ-28 ננומטר. שימוש במשטחי חימום רגילים גורם לעיכוב בחימום, ובכל פעם שהמשטח מתחמם או מקרר, נוצרים חלקיקים שעלולים לפגוע במוצר.
שימוש במייבש לפנות-ייבוש מהיר הוא הדרך הטובה ביותר לפתור את הבעיה הזו, באופן מהיר ובצורה מבוקרת.
מה חשוב בתהליך הייבוש יצרנו את המנורה עם שולחנות פליטה של אינפרא-אדום בגלים קצרים, הממוקמים בתוך מעטפת קוורץ. התגובה של המנורה היא מהירה, וספקטרום האור נמצא בדיוק בטווח הספיגה של המים. האחידות התרמית על פני הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, מה שמגן על איכות הפוטורזיסט בשלבי החימום שלאחר מכן.
ניתן להגיע לרמת ניקיון של 1–100, מכיוון שהאזור החם משתמש בחומרים ללא חלקיקים, והמנורה נמצאת מתחת למערכת של זרימת אוויר ליניארית. הביצועים של המנורה נשארים יציבים לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי של פחות מ-5%. ההגדרות של המנורה נשארות יציבות מיום ליום, ללא צורך בהתאמות.
למה זה חשוב בייצור מיד לאחר השטיפה, המנורה מייבשת את הוואפר בתוך שניות, ולא דקות. זה מקצר את זמן העיבוד ומאפשר שליטה טובה יותר באיכות המוצר. האחידות התרמית מפחיתה את השינויים באיכות הפוטורזיסט, כך שיש פחות פגמים שנגרמים כתוצאה משינויי הטמפרטורה.
צריכת האנרגיה גם היא יורדת, מכיוון שהמנורה מחממת את הוואפר ישירות, במקום לחמם את כל המשטח. יש פחות צורך בעיבודים חוזרים, והתהליך נשאר יציב.
מה צריך לקחת בחשבון המנורה מתחברת למערכת SECS/GEM לצורך תקשורת עם המכונה, אך היא זקוקה לאספקת אנרגיה נפרדת ולמערכת פינוי אוויר יעילה כדי לשמור על יציבות הטמפרטורה. יש להשאיר מרווח של 12 אינץ’ מעל מסלול הוואפר, כדי לשמור על זרימת אוויר ליניארית.
ההגדרות של המנורה קלות לביצוע, אך חשוב שזמן המעבר משלב השטיפה לשלב הייבוש יהיה תואם למהירות ההעברה של הוואפר.