क्लास 100 क्लीनरूम को वास्तव में साफ रखना
जब आप क्लास 100 वाले वातावरण में काम करते हैं, तो “दक्षता” का कोई महत्व नहीं रह जाता। वास्तव में, यहाँ सिर्फ कणों पर नियंत्रण ही महत्वपूर्ण है।
समस्या यह है कि अधिकांश सामान्य IR लैंपों से धूल/कण निकलते रहते हैं। यह धूल दिखाई नहीं देती, लेकिन वास्तव में मौजूद रहती है। इस समस्या को हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज ट्यूबों एवं विशेष सिरेमिक एंड कैपों का उपयोग करके हल करते हैं।
सामग्री का महत्व
अधिकांश IR एमिटरों में ट्यूबों के छोरों पर चिपकने वाले पदार्थ या सस्ते प्लास्टिकों का उपयोग किया जाता है। उच्च तापमान वाले क्लीनरूमों में ऐसी सामग्रियाँ नष्ट हो जाती हैं, जिससे वेफरों पर प्रदूषण हो जाता है। हमने उच्च शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग किया। यह तापीय झटकों का सामना कर सकता है, एवं रासायनिक प्रक्रियाओं से भी सुरक्षित रहता है।
लेकिन वास्तविक रहस्य तो सिरेमिक एंड कैपों में ही है। हम बिना किसी धातुयुक्त पदार्थ के उच्च-एल्यूमिना वाले सिरेमिक का उपयोग करते हैं। इससे सस्ते लैंपों में देखी जाने वाली धूल से बचा जा सकता है, एवं ऊष्मा बढ़ने पर कोई कार्बनिक पदार्थ बाहर नहीं निकलता।
कुछ बातें जिन पर ध्यान देना आवश्यक है
ये एमिटर बहुत ही उच्च ऊष्मा उत्पन्न करते हैं। इसलिए, इन्हें सही तरीके से ही लगाना आवश्यक है। यदि ट्यूब कुछ मिलीमीटर भी इधर-उधर हो जाए, तो वेफर पर गर्म बिंदु बन जाएगा। यह बहुत ही सूक्ष्म स्तर की सटीकता है, लेकिन यह आवश्यक है।
और, पावर सप्लाई के बारे में एक सलाह – उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज अपने ही तरीके से सिकुड़ता है। यदि आप बहुत जल्दी ही पावर चालू कर देंगे, तो सिरेमिक एवं क्वार्ट्ज के बीच का संबंध खराब हो जाएगा। इसलिए, धीरे-धीरे ही पावर चालू करें। ऐसा करने से आपके सीलिंग उपकरणों को लाभ होगा।
इन एमिटरों का उपयोग
हमने इन एमिटरों को ऐसे ही बनाया है कि इन्हें सीधे ही मौजूदा नियंत्रकों में जोड़ा जा सके। ऐसा करने से आप शॉर्ट-वेव एमिशन का उपयोग कर सकते हैं।
चूँकि हमने प्रदूषण पैदा करने वाले तत्वों को हटा दिया है, इसलिए सतहों की जाँच करते समय आपको बहुत कम कण दिखाई देंगे। इससे सफाई करने में कम समय लगेगा, एवं उत्पादन में अधिक समय लग सकेगा। बस यह सुनिश्चित करें कि आपके कूलिंग फैन पर्याप्त मजबूत हों, ताकि वे उन सिरेमिक टर्मिनलों से निकलने वाली ऊष्मा को संभाल सकें।