लाइन पर
300 मिमी वेफर को सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक के दौरान ड्रिफ्ट सहन नहीं कर सकता। पूरे क्षेत्र में 2°C का हॉटस्पॉट CD को स्थानांतरित करेगा, पीछे स्कम छोड़ देगा, और पूरे बैच को स्क्रैप में बदल देगा। आपको तापमान नियंत्रण की आवश्यकता है जो एक वास्तविक प्रक्रिया पैरामीटर की तरह कार्य करे, न कि एक अनुमान।
क्या महत्वपूर्ण है
हमने वेफर कार्य के लिए ±0.1°C थर्मल यूनिफॉर्मिटी बनाए रखने के लिए प्रिसिजन IR सेंसर बनाया। सेटपॉइंट रिपीटेबिलिटी ±0.05°C रन-टू-रन के भीतर रहती है।
यह क्लीनरूम क्लास 1-100 में चलता है, ऐसे सामग्रियों और फिनिश के साथ जो कण नहीं छोड़ते। जीरो आउटगैसिंग, जीरो शेdding, और फोटोरेसिस्ट को प्रदूषित करने वाली कोई चीज़ नहीं।
यह हलोजन, क्वार्ट्ज, और NIR स्रोतों के साथ काम करता है, और स्पेक्ट्रल प्रतिक्रिया स्थिर रहती है ताकि अवशोषण वेफर में समान हो। आपको 5,000+ घंटों के बाद स्थिर आउटपुट मिलता है, जिसमें 5% से कम ड्रिफ्ट होती है।
यह लिथोग्राफी में क्यों टिकता है
लिथोग्राफी में, फोटोरेसिस्ट बेक थर्मल बजट सेट करता है। इस सेंसर के साथ, आप पहले बैच में लक्ष्य पर पहुंचते हैं और वहां बने रहते हैं, बैच दर बैच। रिवर्क की आवश्यकता कम होती है। CD नियंत्रण तंग होता है, दोष गिरते हैं, और उपज पूर्वानुमान योग्य हो जाती है।
चूंकि नियंत्रण बैंड तंग है, आप आवश्यक से अधिक समय तक नहीं बेक करते, इसलिए ऊर्जा का उपयोग कम होता है। प्लेटफॉर्म 150 मिमी और 300 मिमी उपकरणों का समर्थन करता है और मौजूदा ओवन्स और ट्रैक्स में फिट हो जाता है, प्रक्रिया विंडो को उचित स्थान पर रखता है—स्पेक में।
व्यावहारिक विवरण
स्थापना का अर्थ है एक समर्पित, शील्डेड थर्मोकपल रन और आपके चेंबर ज्यामिति के लिए एक कैलिब्रेशन ऑफसेट। कमीशनिंग संक्षिप्त है: अपने रेजिस्ट स्टैक के लिए इमिसिविटी और ड्वेल टाइम को ट्यून करें।
सेंसर 24/7 संचालन के लिए रेट किया गया है, लेकिन यदि परिवेश की आर्द्रता 60% RH से ऊपर बढ़ जाती है, तो आपको ऑप्टिक्स को सूखा रखने के लिए सक्रिय पर्ज की आवश्यकता होती है।
एक 24-घंटे की क्वालिफिकेशन चलाएं ताकि नुस्खा लॉक हो जाए, फिर इसे काम पर लगाएं।