लाइन पर 300 मिमी वेफर को सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक के दौरान ड्रिफ्ट सहन नहीं कर सकता। पूरे क्षेत्र में 2°C का हॉटस्पॉट CD को स्थानांतरित करेगा, पीछे...

फैब फ्लोर पर, थर्मल उतार-चढ़ाव किसी चेतावनी के साथ नहीं दिखते—वे यील्ड के कम होने के रूप में दिखते हैं। फोटोरेसिस्ट बेक के दौरान 0.5°C ड्रीफ्ट भी...