लिथोग्राफी प्रक्रिया में, FOUPs को साफ करने के बाद गीली ही अवस्था में ही उपयोग में लाया जाता है… ऐसे में समय बहुत ही महत्वपूर्ण होता है। यदि तापमान में थोड़ी भी त्रुटि हो जाए, तो फोटोरेसिस्ट ठीक से सुखाया नहीं जा पाता… इससे दोष बढ़ जाते हैं। हमने FOUP ड्रायर ऐसे ही बनाया है, ताकि ऐसी समस्याओं को शुरू होने से ही रोका जा सके।
पीछे की प्रक्रिया में क्या महत्वपूर्ण है?
हम पूरे FOUP में वेफरों पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखते हैं… ताकि हर वेफर को समान तापीय वातावरण ही मिल सके। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक के कारण तेज़ एवं सीधी गर्मी प्राप्त होती है… जिससे तापमान नियंत्रण में रहता है। चैंबर क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप है… एवं सामग्रियाँ ऐसी ही चुनी गई हैं, ताकि कोई कण न उत्पन्न हो। पुनरावृत्ति संभव है, क्योंकि सेंसरों का उपयोग किया गया है… एवं एक बंद-लूप एल्गोरिथ्म भी है, जो बैच मास एवं वातावरणीय परिवर्तनों की भरपाई करता है। यह उपकरण 24/7 काम करता है… एवं कई महीनों तक इसके उपयोग के दौरान कोई बंद होने की स्थिति ही नहीं आई।
व्यवहार में यह क्यों कारगर है?
फोटोरेसिस्ट के घोल को बाहर निकालना आवश्यक है… और केवल घोल ही। तापमान नियंत्रण के कारण बेकिंग प्रक्रिया पूर्वानुमेय हो जाती है… दोष कम हो जाते हैं… एवं रिव्यू प्रक्रिया भी सरल हो जाती है। तेज़ गर्मी के कारण समय कम लगता है… एवं कम ऊर्जा खपत होती है। परिणामस्वरूप लिथोग्राफी प्रक्रिया स्थिर रहती है… कम रीवर्क होता है… एवं उत्पाद निर्धारित मानकों के अनुरूप ही बनता है।
व्यावहारिक विवरण:
इंस्टॉलेशन के दौरान सटीकता बहुत ही महत्वपूर्ण है… ड्रायर को स्वच्छ बिजली आपूर्ति एवं उचित ग्राउंडिंग देनी आवश्यक है… ताकि विद्युत शोर सेंसरों पर न पड़े। इसके अलावा, विशेष एक्सहॉस्ट सिस्टम का उपयोग करना आवश्यक है… ताकि क्लास मानकों का पालन हो सके। यह उपकरण मानक FOUP आकारों में ही फिट होता है… लेकिन इस्तेमाल से पहले टूल एवं FOUP के बीच का संरेखण जरूर जाँचें। पहले ही टेस्ट चलाकर तापमान एवं स्थिति का विश्लेषण करें… एवं सही सेटिंग्स निर्धारित करें।