फैब्रिकेशन फ्लोर पर, स्क्रबर से निकलने वाला गीला कैरियर, लिथोग्राफी प्रक्रिया में नमी को अंदर ले जाने में असमर्थ होता है। शेष फिल्में एवं पानी के...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, FOUPs को साफ करने के बाद गीली ही अवस्था में ही उपयोग में लाया जाता है… ऐसे में समय बहुत ही महत्वपूर्ण होता है। यदि तापमान...