स्मार्ट फैब में सही तरीके से हीटिंग प्रणाली लगाना
यदि आप एक आधुनिक फैब बना रहे हैं, तो आपको शायद पता ही होगा कि पुरानी एनालॉग हीटिंग प्रणालियाँ अब काम नहीं करतीं। आपको डेटा की आवश्यकता है… सटीकता की भी आवश्यकता है। लेकिन सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि आपको ओजोन संबंधी समस्याओं की चिंता करने की आवश्यकता ही नहीं है।
समस्या क्या है?
सामान्य शॉर्टवेव IR लैंप 185nm से 254nm तरंगदैर्घ्यों पर काम करते हैं… जिसके कारण उपकरणों के आसपास की हवा में ओजोन उत्पन्न हो जाता है। यह आपकी सेमीकंडक्टर सामग्रियों के लिए हानिकारक है… और आपके सटीक उपकरणों के लिए तो और भी हानिकारक है… क्योंकि ऐसे उपकरण क्षय होने लगते हैं।
हमने इस समस्या का समाधान कैसे किया?
हमने विशेष अवशोषकों वाले क्वार्ट्ज एनवेलप ही इस्तेमाल किए… ऐसे अवशोषक उन हानिकारक तरंगदैर्घ्यों को रोक देते हैं। इस प्रकार, आपको अभी भी तेज गर्मी मिलती है… लेकिन रासायनिक प्रभाव नहीं होते। इसका मतलब है कि आप अपने हीटिंग उपकरणों को सब्सट्रेट के निकट रख सकते हैं… बिना ऑक्सीकरण या क्लीनरूम की हवा को खराब करने की चिंता किए।
टेक्नोलॉजी के साथ समन्वय
एक स्मार्ट फैब तभी ही अच्छा होता है, जब उसमें उचित फीडबैक लूप हो। ये IR सिस्टम सिर्फ “बेवकूफ” हीटर नहीं हैं… बल्कि ये आपकी डिजिटल सिस्टम के साथ अच्छी तरह काम करते हैं।
इन्हें करंट सेंसरों एवं PID कंट्रोलरों से जोड़कर, आप वास्तविक समय में अपनी लाइन के थर्मल प्रभावों को देख सकते हैं। चूँकि ये पीएलसी फ्रेमवर्क से जुड़े होते हैं, इसलिए आप सेंसरों से मिलने वाली जानकारी के आधार पर वाटेज को आसानी से समायोजित कर सकते हैं… यह बहुत ही सरल है।
गर्मी संबंधी वास्तविकता
लेकिन एक समस्या तो है ही… उच्च-घनत्व वाले IR ऐरे बहुत तेजी से गर्मी पैदा करते हैं… लेकिन इस तेजी के साथ ही बहुत सारी अतिरिक्त गर्मी भी उत्पन्न होती है।
यदि आप तेजी से प्रक्रिया पूरी करने हेतु उच्च-वाटेज वाली हीटिंग प्रणाली का उपयोग करते हैं, तो आपको HVAC सिस्टम की भी आवश्यकता है… यदि आपके कूलिंग मैनिफोल्ड उचित आकार के न हों, तो वातावरण में गर्मी बढ़ जाएगी… और यह आपके ऑटोमेशन सेंसरों को प्रभावित करेगा… यह एक संतुलन स्थापित करने का मामला है।
लाभ क्या है?
सबसे अच्छी बात यह है कि ओजोन-मुक्त IR हीटिंग प्रणाली के उपयोग से आपको कई समस्याओं से छुटकारा मिल जाता है… आपको अपनी एक्सहॉस्ट सिस्टम में विशाल ओजोन सक्शन उपकरणों की आवश्यकता ही नहीं रहती।
आपके हीटिंग उपकरणों का आकार छोटा हो जाता है… हवा भी स्वच्छ रहती है… और आप केंद्रीय मॉनिटर के माध्यम से प्रति इकाई कितनी ऊर्जा खर्च हो रही है, इसका अनुमान ले सकते हैं… यह वाकई बहुत ही सरल है।