फैब फ्लोर पर, तापमान संबंधी अस्थिरताएँ बिल्कुल भी स्वीकार्य नहीं हैं। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान तापमान में होने वाले परिवर्तन, खराब एनीलिंग प्रक्रियाएँ – इन सबके कारण उत्पादन में गिरावट आ जाती है। हमने अपने सेमीकंडक्टर एनीलिंग इंफ्रारेड लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि वे उन्नत चिप निर्माण प्रक्रियाओं की आवश्यकताओं को पूरा कर सकें।
तकनीकी दृष्टि से, महत्वपूर्ण बात तो नियंत्रण ही है। हम शॉर्ट-वेव इंफ्रारेड रश्मियों का उपयोग करते हैं; ऐसी रश्मियाँ ऊर्जा को सीधे वेफर की सतह तक पहुँचाती हैं। यह लैंप, बेकिंग क्षेत्र में ±0.1°C की तापीय एकरूपता बनाए रखता है; इससे हर वेफर को समान तापीय वातावरण मिलता है। 300°C से 550°C तक आउटपुट स्थिर रहता है, एवं चक्र-दर-चक्र विचलन ±0.2°C से भी कम रहता है।
क्लीनरूम क्लास 1–100 का पालन किया जाता है। इस लैंप को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है, ताकि इससे कम से कम गैस निकले, एवं विकिरण के समय कोई कण उत्पन्न न हो। इंटीग्रेटेड क्लोज्ड-लूप सेंसिंग के कारण, वोल्टेज में उतार-चढ़ाव होने पर भी ऊर्जा आवश्यक स्तर पर ही आपूर्ति होती है।
लिथोग्राफी में, “सॉफ्ट बेक” का उपयोग फोटोरेजिस्ट के घोल को नियंत्रित करने हेतु किया जाता है; जबकि “हार्ड बेक” का उपयोग छवि को स्थिर रखने हेतु किया जाता है। इस लैंप के उपयोग से उत्पादन प्रक्रिया में एकरूपता बनी रहती है, किनारों पर कोई समस्या नहीं होती, एवं उत्पाद अधिक स्वच्छ रहता है। पतली फिल्मों एवं डोपिंग संबंधी प्रक्रियाओं में भी तापीय नियंत्रण बेहतर रहता है।
इसका फायदा यह है कि पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है, उत्पादन प्रक्रिया पूर्वानुमेय रहती है, एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि तापन प्रक्रिया अत्यधिक सटीक एवं आवश्यकतानुसार ही होती है। इस डिज़ाइन के कारण उत्पादन प्रक्रिया 24/7 चल सकती है, एवं आउटपुट में कोई विचलन नहीं होता।
व्यावहारिक दृष्टि से, इस लैंप को एक विशेष, सुरक्षित विद्युत सप्लाई स्रोत की आवश्यकता है; साथ ही प्रोसेस विंडो में उचित तापीय अलगाव भी आवश्यक है। रिफ्लेक्टर की ज्यामिति को चेम्बर के आकार के अनुरूप डिज़ाइन करना आवश्यक है, ताकि तापीय एकरूपता बनी रहे।
अपने विशिष्ट वेफर स्टैक के अनुरूप लैंप की सेटिंग्स को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। एक बार ऐसा हो जाने के बाद, प्रोसेस पुनरावृत्ती योग्य हो जाती है, एवं ऑडिट हेतु तैयार हो जाती है।