MEMS वेफरों को सही तरीके से सुखाना
MEMS सेंसर वेफरों को सुखाना काफी कठिन कार्य है। यदि तापीय नियंत्रण सही तरीके से नहीं किया गया, तो सतही तनाव के कारण सेंसरों को नुकसान पहुँच सकता है। इस समस्या को दूर करने हेतु, हम इन्फ्रारेड हीटिंग तत्वों का उपयोग करते हैं; ऐसा करने से शेष तरल पदार्थ तुरंत वाष्पीभूत हो जाते हैं। लक्ष्य यह है कि बिना सेंसरों को नुकसान पहुँचाए ही उनमें मौजूद नमी को दूर किया जाए।
ऊर्जा संबंधी समस्याएँ
ऊष्मा प्रवाह के मामले में, काम जल्दी पूरा करने हेतु अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होती है। समस्या यह है कि यदि ऊर्जा की मात्रा कम हो, तो सुखाने की प्रक्रिया धीमी रह जाती है, जिससे वेफरों पर पानी के धब्बे बन जाते हैं। लेकिन यदि ऊर्जा की मात्रा अत्यधिक हो, तो वेफर विकृत हो जाते हैं। इसलिए वोल्टेज एवं ऊर्जा की मात्रा को सही तरीके से संतुलित करना आवश्यक है। ध्यान रखें कि यदि उच्च-ऊर्जा वाले उपकरणों का उपयोग किया जा रहा है, तो चेसिस का शीतलन भी उचित होना आवश्यक है; अन्यथा अत्यधिक ऊष्मा के कारण समस्याएँ उत्पन्न हो सकती हैं।
ऐसी सामग्रियाँ जो लंबे समय तक टिकती हैं
हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज सामग्रियों का ही उपयोग करते हैं; क्योंकि ये तेज गर्मी/ठंड के कारण भी टूटती नहीं हैं। MEMS कार्यों हेतु, हम ट्यूबों पर कोटिंग भी लगाते हैं; ऐसा करने से ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पड़ती है, न कि मशीन के फ्रेम पर।
अन्य महत्वपूर्ण बातें
कनेक्टरों पर भी ध्यान देना आवश्यक है; क्योंकि यहीं से अक्सर समस्याएँ उत्पन्न होती हैं। हम औद्योगिक-गुणवत्ता वाले कनेक्टरों का ही उपयोग करते हैं; क्योंकि कमजोर कनेक्शन के कारण लैंप खराब हो सकते हैं। हम छोटे आकार वाले लैंपों का ही उपयोग करते हैं; ऐसा करने से छोटे स्थानों में भी अधिक लैंप रखे जा सकते हैं।
वास्तविक दुनिया में आने वाली चुनौतियाँ
बस स्विच चालू करके अच्छे परिणामों की उम्मीद नहीं की जा सकती। हम इन उपकरणों को PLC-नियंत्रित प्रणालियों में ही जोड़ते हैं; ऐसा करने से ऊष्मा को धीरे-धीरे ही बढ़ाया जा सकता है। यदि तुरंत ही अधिक ऊर्जा दी जाए, तो तापीय झटके के कारण समस्याएँ उत्पन्न हो सकती हैं।
लेकिन ऊँची ऊर्जा घनत्व के कारण लैंप लंबे समय तक टिकते नहीं हैं। इसलिए, लैंपों को नियमित रूप से बदलना ही बेहतर है। नियमित रूप से लैंप बदलने से लागत भी कम आती है; क्योंकि यदि कोई लैंप खराब हो जाए, तो पूरी खेप के सेंसर बर्बाद हो जाते हैं। इसके अलावा, इन्सुलेशन की नियमित जाँच भी आवश्यक है; क्योंकि लीकेज के कारण वेफरों को नुकसान पहुँच सकता है।