हम अर्धचालक उत्पादों के उत्पादन हेतु IR हीटिंग का उपयोग क्यों कर रहे हैं?
जब हम वेफरों या अन्य घटकों को विभिन्न चरणों में स्थानांतरित कर रहे होते हैं, तो तापमान को स्थिर रखना बहुत ही महत्वपूर्ण है। कई वर्षों तक हम गर्म हवा का ही उपयोग करते रहे। यह तो काम करता ही है… लेकिन यह बहुत ही धीमी प्रक्रिया है। हाल ही में, हम इन ट्रॉली सिस्टमों हेतु इन्फ्रारेड (IR) हीटिंग का उपयोग कर रहे हैं। क्यों? क्योंकि हवा के गर्म होने का इंतज़ार करना सभी का समय बर्बाद करना है।
हवा के इंतज़ार से होने वाली समस्याएँ
ठंडक के प्रभाव के बारे में सोचिए… पहले हवा को गर्म करना होता है, फिर हवा ट्रॉली को गर्म करती है, और अंत में ट्रॉली ही सब्सट्रेट को गर्म करती है। यह एक श्रृंखलाबद्ध प्रक्रिया है। क्लीनरूम में ऐसी देरी, वास्तव में उत्पादकता पर बोझ ही है। IR हीटिंग में तो ऐसी मध्यवर्ती प्रक्रियाओं की कोई आवश्यकता ही नहीं है… यह विद्युत तरंगों का उपयोग करके सीधे ही लक्ष्य को गर्म करता है। यह लगभग तुरंत ही हो जाता है… इस प्रकार समय की बर्बादी नहीं होती।
IR हीटिंग एवं फोर्स्ड एयर हीटिंग – दोनों में क्या अंतर है?
फोर्स्ड एयर हीटिंग में ब्लोअर, डक्ट आदि की आवश्यकता होती है… इससे काफी जगह भी लग जाती है। जबकि IR हीटर बहुत ही छोटे होते हैं… इन्हें ट्रॉली में आसानी से लगाया जा सकता है… इसके लिए कोई बड़ा एयर-हैंडलिंग उपकरण आवश्यक नहीं है। लेकिन एक समस्या तो है ही… IR हीटिंग में तो ऊर्जा केवल दृष्टि-रेखा के अंदर ही पहुँच पाती है… यदि लोड असमान रूप से रखा गया है, या कोई चीज़ रास्ते में बाधा बन रही है, तो कुछ जगहों पर ठंडक ही रह जाती है। ऐसी स्थिति में बस लैंप लगाना ही पर्याप्त नहीं है… लैंपों की स्थिति का ध्यान रखना आवश्यक है। हम आमतौर पर कई लैंपों का उपयोग करने की सलाह देते हैं… यही सबसे अच्छा तरीका है।
क्लीनरूम में IR हीटिंग का उपयोग कैसे किया जाए?
हम ऐसे उपकरणों को बनाते समय उनकी सफाई पर विशेष ध्यान देते हैं… चूँकि इनमें कोई फैन नहीं होता, इसलिए कोई धूल/कण उत्पन्न नहीं होते। हम हीटिंग तत्वों को क्वार्ट्ज से ढक देते हैं… या विशेष कोटिंगों का उपयोग करते हैं… ताकि कोई गैस वातावरण में न जाए। विद्युत संबंधी एक टिप: शुरुआत में बहुत अधिक वोल्टेज आ सकता है… ऐसी स्थिति में ब्रेकर फेल हो सकता है… इससे बचने हेतु या तो ब्रेकरों को अपग्रेड करें, या हीटिंग प्रक्रियाओं को व्यवस्थित रूप से करें… ताकि सब कुछ एक ही समय पर शुरू न हो।