Mengeringkan Wafer MEMS dengan Benar
Mengeringkan wafer sensor MEMS merupakan proses yang membutuhkan kehati-hatian ekstra. Jika pengendalian suhu tidak dilakukan dengan tepat, maka akan terjadi masalah seperti adhesi atau tegangan permukaan yang dapat merusak sensor tersebut. Untuk mengatasi hal ini, kita menggunakan elemen pemanas inframerah untuk menguapkan sisa cairan yang masih ada. Tujuannya adalah untuk menghilangkan kelembapan tanpa merusak membran sensitif tersebut.
Keseimbangan Energi
Dalam hal fluks panas, diperlukan energi yang cukup besar agar proses pengeringan berjalan cepat. Masalahnya adalah, jika daya yang digunakan terlalu rendah, proses pengeringan akan berlangsung lama, sehingga akan meninggalkan noda air di permukaan wafer. Namun, jika daya yang digunakan terlalu tinggi, wafer akan melengkung. Ini merupakan keseimbangan yang harus dicapai. Kita menyesuaikan tegangan dan daya agar panasnya merata ke seluruh permukaan wafer. Ingatlah, jika Anda menggunakan tabung berdaya tinggi, sistem pendinginan chasis perlu mampu menangani panas yang dihasilkan, agar tidak terjadi kerusakan akibat panas berlebih.
Bahan yang Tahan lama
Kami menggunakan kemasan kuarsa berkualitas tinggi, karena bahan ini mampu bertahan dari perubahan suhu yang drastis tanpa retak. Untuk pekerjaan MEMS, kami sering menambahkan lapisan pelindung pada tabung tersebut. Hal ini membantu memfokuskan energi agar hanya sampai ke permukaan wafer, bukan hanya memanaskan rangka mesin saja.
Tips Penting
Perhatikan konektor yang digunakan. Biasanya inilah bagian yang sering bermasalah. Kami menggunakan terminal berkualitas industri, karena koneksi yang longgar dapat menyebabkan arus listrik yang berlebihan, sehingga merusak komponen lampu dalam waktu singkat. Kami juga memastikan ukuran konektor tetap kecil, sehingga lebih banyak lampu yang bisa dimasukkan ke dalam ruang pengeringan yang sempit.
Kompromi dalam Dunia Nyata
Anda tidak bisa sekadar menyalakan lampu dan berharap semuanya berjalan lancar. Kami menggunakan sistem kontrol PLC agar panas dapat dinaikkan secara perlahan. Jika panas diberikan secara langsung, maka akan terjadi kejutan termal. Namun, semakin tinggi daya yang digunakan, umur lampu akan semakin pendek. Pada dasarnya, Anda sedang menukar umur lampu dengan kecepatan pengeringan. Oleh karena itu, saya merekomendasikan jadwal penggantian lampu yang ketat. Lebih murah untuk mengganti lampu secara berkala daripada harus membuang seluruh sensor karena lampu rusak di tengah proses produksi. Selain itu, pastikan isolasi kabel juga diperiksa secara rutin—Anda tentu tidak ingin arus listrik yang bocor merusak wafer.